[实用新型]玻璃镀膜设备及其平面阴极

说明书

本申请属于玻璃镀膜技术领域，尤其涉及一种玻璃镀膜设备及其平面阴极，该平面阴极包括阴极背板和至少两个平面靶材，阴极背板具有安装面，各平面靶材均安装于安装面上，各平面靶材间隔设置，相邻的两个平面靶材之间均形成有间隙槽，相邻的两个平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起，在沿垂直于安装面的方向上，第一凸起和第二凸起上下设置，第一凸起的凸伸高度与第二凸起的凸伸高度之和大于等于间隙槽的槽宽。该平面阴极相邻两个平面靶材拼接时不会出现由上而下垂直贯穿的缝隙，这样溅射气体不会通过垂直缝隙对阴极背板的侵蚀，也解决了阴极靶材背板受长时间溅射而被侵蚀损坏的问题，有效的提升了平面阴极的寿命，提高了镀膜产品质量。

技术领域

本申请属于玻璃镀膜技术领域，尤其涉及一种玻璃镀膜设备及其平面阴极。

背景技术

上世纪80年代开始，真空磁控阴极溅射镀膜技术得到迅猛的发展，镀膜设备中的平面阴极和平面靶材也得到越来越广泛的应用。传统平面阴极靶材固设于阴极背板之上并两两拼接时，相邻的两个平面阴极靶材之间会出现由上而下垂直贯穿的拼接缝隙。在阴极溅射过程中，溅射气体会通过缝隙直接对阴极背板进行溅射侵蚀，同时在侵蚀的过程中伴有高压放电现象，尤其是靶材快要用完时这种侵蚀放电就会越严重，久而久之会造成阴极背板贯穿折断或形成孔洞，进而导致真空泄漏无法生产以及阴极损坏。因此如何减少这种情况的发生，进而提升产品质量和更好的保护阴极是目前急需解决的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种玻璃镀膜设备及其平面阴极，旨在解决现有技术中的平面阴极中阴极背板易于侵蚀损坏的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：一种平面阴极，包括阴极背板和至少两个平面靶材，所述阴极背板具有安装面，各所述平面靶材均安装于所述安装面上，各所述平面靶材间隔设置，相邻的两个所述平面靶材之间均形成有间隙槽，相邻的两个所述平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起，在沿垂直于所述安装面的方向上，所述第一凸起和所述第二凸起上下设置，所述第一凸起的凸伸高度与所述第二凸起的凸伸高度之和大于等于所述间隙槽的槽宽。

可选地，所述第一凸起包括第一水平面和第一倾斜面，所述第一水平面自所述平面靶材顶部朝向所述第二凸起水平延伸；在背向所述安装面的方向上，所述第一倾斜面自所述平面靶材的底部倾斜朝向所述第二凸起延伸直至与所述第一水平面相连；所述第二凸起包括第二水平面和第二倾斜面，所述第二水平面自所述平面靶材底部朝向所述第一凸起水平延伸；在朝向所述安装面的方向上，所述第二倾斜面自所述平面靶材的顶部倾斜朝向所述第二凸起延伸直至与所述第二水平面相接。

可选地，所述第一水平面与所述平面靶材的顶面齐平，所述第二水平面与所述平面靶材的底面齐平。

可选地，所述第一水平面与所述第一倾斜面之间夹角的范围为30°～60°；所述第二水平面与所述第二倾斜面之间夹角的范围为30°～60°。

可选地，所述第一倾斜面与所述第二倾斜面平行设置。

可选地，所述第一水平面与所述第一倾斜面之间夹角为45°；所述第二水平面与所述第二倾斜面之间夹角为45°。

可选地，相邻的两个所述平面靶材彼此对应的端部分别设置有用于形成所述第一凸起的第一阶梯和用于形成所述第二凸起的第二阶梯。

可选地，各所述平面靶材上均设置有压条，各所述平面靶材的边部均设有缺口，各所述压条均包括固定部和与所述固定部连接的压紧部，所述固定部固定安装于所述阴极背板上，且所述压紧部压紧于各所述缺口。

可选地，相邻的两个所述压条的彼此相对的端面分别为第三倾斜面和第四倾斜面，所述第三倾斜面和所述第四倾斜面相贴合。