[实用新型]玻璃镀膜设备及其平面阴极

权利要求书

1.一种平面阴极，其特征在于：包括阴极背板和至少两个平面靶材，所述阴极背板具有安装面，各所述平面靶材均安装于所述安装面上，各所述平面靶材间隔设置，相邻的两个所述平面靶材之间均形成有间隙槽，相邻的两个所述平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起，在沿垂直于所述安装面的方向上，所述第一凸起和所述第二凸起上下设置，所述第一凸起的凸伸高度与所述第二凸起的凸伸高度之和大于等于所述间隙槽的槽宽。

2.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于：所述第一凸起包括第一水平面和第一倾斜面，所述第一水平面自所述平面靶材顶部朝向所述第二凸起水平延伸；在背向所述安装面的方向上，所述第一倾斜面自所述平面靶材的底部倾斜朝向所述第二凸起延伸直至与所述第一水平面相连；

所述第二凸起包括第二水平面和第二倾斜面，所述第二水平面自所述平面靶材底部朝向所述第一凸起水平延伸；在朝向所述安装面的方向上，所述第二倾斜面自所述平面靶材的顶部倾斜朝向所述第二凸起延伸直至与所述第二水平面相接。

3.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于：所述第一水平面与所述平面靶材的顶面齐平，所述第二水平面与所述平面靶材的底面齐平。

4.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于：所述第一水平面与所述第一倾斜面之间夹角的范围为30°～60°；所述第二水平面与所述第二倾斜面之间夹角的范围为30°～60°。

5.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于：所述第一倾斜面与所述第二倾斜面平行设置。

6.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于：所述第一水平面与所述第一倾斜面之间夹角为45°；所述第二水平面与所述第二倾斜面之间夹角为45°。

7.根据权利要求1～6任一项所述的平面阴极，其特征在于：相邻的两个所述平面靶材彼此对应的端部分别设置有用于形成所述第一凸起的第一阶梯和用于形成所述第二凸起的第二阶梯。

8.根据权利要求1～6任一项所述的平面阴极，其特征在于：各所述平面靶材上均设置有压条，各所述平面靶材的边部均设有缺口，所述压条包括固定部和与所述固定部连接的压紧部，所述固定部固定安装于所述阴极背板上，且所述压紧部压紧于各所述缺口。

9.根据权利要求8所述的平面阴极，其特征在于：相邻的两个所述压条的彼此相对的端面分别为第三倾斜面和第四倾斜面，所述第三倾斜面和所述第四倾斜面相贴合。

10.一种玻璃镀膜设备，其特征在于：包括权利要求1～9任一项所述的平面阴极。