[实用新型]一种砷化镓晶体生长用单晶炉有效
| 申请号： | 202021102900.4 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN213172685U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 马争荣;王建玲 | 申请（专利权）人： | 高密普特电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B11/00 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 殷盛江 |
| 地址： | 261500 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶体生长 用单晶炉 | ||
1.一种砷化镓晶体生长用单晶炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的顶部固定安装有炉盖(4)，所述炉体(1)的左侧壁内部固定安装有观察窗(5)，所述观察窗(5)的下方且位于炉体(1)的内部固定安装有数量为三个的射频线感应圈(6)，所述炉体(1)的底部固定安装有夹持座(2)，所述夹持座(2)的底部固定安装有固定座(3)，所述固定座(3)的内部固定安装有电机(7)，所述电机(7)输出轴的顶部且位于的固定座(3)的内部固定安装有减速器(8)，所述减速器(8)远离电机(7)输出轴的一端固定安装有延伸至炉体(1)内部的转动轴(9)，所述转动轴(9)的外侧且位于炉体(1)的内部固定安装有轴承(10)，所述转动轴(9)的外侧且位于轴承(10)的上方活动安装有托盘(11)，所述托盘(11)的外侧固定安装有数量为四个的连接座(12)，四个所述连接座(12)的内侧均固定安装有延伸至炉体(1)内侧壁的固定杆(13)，所述转动轴(9)远离减速器(8)的一端固定安装有受热箱(14)。
2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长用单晶炉，其特征在于：所述托盘(11)呈圆饼状，托盘(11)的中部开设有与转动轴(9)相适配的通孔，四个所述连接座(12)呈对称式位于托盘(11)的外侧。
3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长用单晶炉，其特征在于：四个所述固定杆(13)远离连接座(12)的一端均固定安装有连接片，四个连接片远离固定杆(13)的一端均与炉体(1)的内侧壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长用单晶炉，其特征在于：所述炉体(1)的左侧壁内部开设有与观察窗(5)相适配的安装槽，观察窗(5)的截面呈平行四边形。
5.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长用单晶炉，其特征在于：所述固定座(3)的内部固定安装有电机固定盒，电机固定盒的内部开设有与电机(7)相适配的安装室。
6.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长用单晶炉，其特征在于：所述炉体(1)的内部开设有加热室腔，加热室腔的外侧且位于炉体(1)的内部开设有数量为三个与射频线感应圈(6)相适配的安装孔，三个射频线感应圈(6)的间距相等。
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