[实用新型]一种两端带水冷的工艺管

权利要求书

1.一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体(1)、水冷套(2)、进出水嘴(3)、前后固定法兰(4)、炉门密封圈(6)、工艺管密封圈(7)、密封压紧法兰(5)后炉门(8)、前炉门(9)、片舟和硅片(11)和设备架体(12)，其特征在于：所述设备架体(12)的内壁通过前后固定法兰(4)固定安装有工艺管主体(1)，所述工艺管主体(1)两端靠近设备架体(12)的位置处通过前后固定法兰(4)固定安装有水冷套(2)，且水冷套(2)的表面套设有密封压紧法兰(5)和工艺管密封圈(7)，所述设备架体(12)的一侧外壁通过炉门密封圈(6)固定安装有前炉门(9)，所述设备架体(12)的另一侧外壁通过炉门密封圈(6)固定安装有后炉门(8)，所述工艺管主体(1)的外表面固定套装有加热器(10)，且工艺管主体(1)内部设置有片舟和硅片(11)。

2.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述工艺管主体(1)两端的端口上下处皆设置有进出水嘴(3)，且进出水嘴(3)设置有两组。

3.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述前后固定法兰(4)和密封压紧法兰(5)之间的位置处压紧有工艺管密封圈(7)，且水冷套(2)、密封压紧法兰(5)和前后固定法兰(4)之间通过工艺管密封圈(7)进行压紧密封。

4.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述水冷套(2)的内部皆开设有冷却水道(14)，且冷却水道(14)与炉门密封圈(6)和工艺管密封圈(7)紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述炉门密封圈(6)设置有两组，所述前炉门(9)和后炉门(8)之间通过炉门密封圈(6)形成密闭工艺腔室。

6.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述后炉门(8)中心处设置有抽气口(13)，抽气口(13)与工艺管主体(1)内部相连通，且抽气口(13)在后炉门(8)的外侧，固定安装有尾排系统。