[实用新型]一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备，属于太阳能电池设备技术领域，其中，密封圈水冷保护结构，包括设置于炉管端部的法兰总成和密封圈组，法兰总成设有至少一条水冷通道，法兰总成与炉管的接触面设有导热圈；解决了PECVD设备通常需要用到炉管，炉管在工作时内部为高温负压的环境，而保证负压环境的密封圈在高温下极易损坏，导致密封圈的使用寿命缩短，工作人员需频繁更换密封圈，由此带来成本提高，停机次数提高的问题。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，尤其涉及一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备。

背景技术

目前，PECVD设备是太阳能光伏行业镀膜阶段使用最普遍的技术设备，随着光伏设备技术的发展，降低成本、提高效率、延长零部件的使用寿命等要求越来越高。

PECVD设备通常需要用到炉管，炉管在工作时内部为高温负压的环境，而保证负压环境的密封圈在高温下极易损坏，导致密封圈的使用寿命缩短，工作人员需频繁更换密封圈，由此带来成本提高，停机次数提高的问题，因此有待改善。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备，以解决上述的技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种密封圈水冷保护结构，包括设置于炉管端部的法兰总成和密封圈组，所述法兰总成设有至少一条水冷通道，所述法兰总成与炉管的接触面设有导热圈。

通过采用上述技术方案，水冷通道两端通常与设置在法兰总成外壁的进水头和出水头连通，以实现水冷通道内部水循环，水冷通道可带走炉管端部处外壁的热量，从而降低密封圈组的温度，此外，在法兰总成与炉管的接触面设置可由石墨材质构成的导热圈，加快热量的传输，在水循环的基础上进一步地降低密封圈组处的温度；

本实用新型通过水冷通道和导热圈二者的结合，将密封圈组处的炉管外壁的热量传导至水冷通道，降低密封圈组的温度，延长密封圈组的使用寿命，避免工作人员频繁更换，有助于降低成本，降低停机次数。

作为优选，所述导热圈将密封圈组处的炉管外壁的热量传导至水冷通道。

通过采用上述技术方案，导热圈可同时将密封圈的热量和炉管外壁的热量同时导出，但主要还是用于将密封圈组处的炉管外壁的热量传导至水冷通道。

作为优选，所述法兰总成包括水冷法兰和进气法兰，所述密封圈组包括三条密封圈。

通过采用上述技术方案，进气法兰通常设置进气头，用于向炉管内部通入工艺气体。

作为优选，所述水冷通道开设有两条，其中一条开设于水冷法兰的内部，另一条开设于进气法兰的内部。

通过采用上述技术方案，水冷通道可以仅开设于水冷法兰内部，也可以仅开设与进气法兰内部，也可以在水冷法兰内部和进气法兰内部同时开设多条水冷通道，但本实用新型综合考虑降温收益与生产工艺实现难度，将水冷通道优选为两条，水冷通道开设的方式可为：在水冷法兰或进气法兰的其中一个端面上开设一个环形的水槽，水槽与进水头和出水头连通后，采用焊片等材料封死水槽侧壁，以此形成仅有进水头和出水头两个进出口的水冷通道。

作为优选，所述水冷法兰的内环壁开设有容纳槽，所述导热圈设置于容纳槽内。

通过采用上述技术方案，导热圈可直接贴附在水冷法兰的内环壁和炉管外壁，但为了最大程度地提高导热圈的导热性能，本实用新型在水冷法兰的内环壁开设有容纳槽，以此可提高导热圈的厚度，并降低该处的水冷法兰的厚度，从而让炉管外壁的热量更快地通过导热圈导到水冷通道内。

作为优选，第一条密封圈为炉管密封圈，其设置于水冷法兰、进气法兰和炉管这三者的连接处。