[实用新型]一种硅片夹持装置

权利要求书

1.一种硅片夹持装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有安装柱(2)，所述安装柱(2)的顶部左右两侧分别固定安装有安装柱(2)和固定轴(3)，所述安装柱(2)的内侧开设有安装槽(4)，所述安装槽(4)的内壁底部固定安装有输出轴贯穿且延伸至安装柱(2)顶部的电动推杆(5)，所述电动推杆(5)的顶部固定安装有安装块(6)，所述安装块(6)的外侧固定安装有固定环(7)，所述固定环(7)的右侧固定安装有安装架(8)，所述安装架(8)的右侧固定安装有连接板(9)，所述连接板(9)的顶部活动安装有延伸至其底部的连接轴(10)，所述连接轴(10)的底部与固定轴(3)的顶部均固定安装有夹块(11)，所述连接板(9)的顶部固定安装有位于连接轴(10)外侧的安装盒(12)，所述安装盒(12)的内壁左右两侧之间活动安装有移动板(13)，所述移动板(13)的底部固定安装有延伸至连接轴(10)内侧的卡块(14)，所述移动板(13)的顶部活动安装有贯穿且延伸至安装盒(12)上方的螺杆(15)，螺杆(15)与安装盒(12)螺纹连接，所述螺杆(15)的顶部固定安装有旋钮(16)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹持装置，其特征在于：所述安装盒(12)的顶部开设有延伸至其内侧的穿孔，穿孔的直径与螺杆(15)的直径相适配。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹持装置，其特征在于：所述安装盒(12)的内壁顶部固定安装有螺纹连接块，螺纹连接块与螺杆(15)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片夹持装置，其特征在于：所述连接板(9)的顶部开设有延伸至其底部的连接孔，连接孔的直径大于连接轴(10)的直径。

5.根据权利要求4所述的一种硅片夹持装置，其特征在于：所述连接孔的内侧固定安装有轴承，轴承的内侧与连接轴(10)的外侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片夹持装置，其特征在于：所述连接轴(10)的顶部开设有矩形卡槽，矩形卡槽的宽度与卡块(14)的宽度相互适配。