[实用新型]一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置有效
申请号: | 202021094718.9 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212834018U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 张彦利;赵永尚;赵永雷;张全顺 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中晶科技研究院有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/26 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 覃曼萍 |
地址: | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 大型 沉积 调式 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件;本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,设计可伸缩式导气管组件,可根据气柱偏移的位置调节长度,使进气口位于产品中心,保证每柱产品内有且只有一个进气口,确保炉内产品均匀通气,沉积效果良好,产品表面炭黑减少或无炭黑;提高了产品的沉积质量,值得大范围推广使用。
技术领域:
本实用新型涉及管道混合器技术领域,具体为一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。
背景技术:
工业生产中利用大型气相沉积炉对炭炭复合材料进行气相沉积,通入天然气或丙烷等气体在高温下分解出碳原子,将其吸附于炭炭预制体内,而通入气体(气体由气柱排出)的气流均匀性决定了预制体沉积效果,现有的气相沉积炉按照设计只能装入设定尺寸的产品;但在实际生产中随着产品尺寸的增加,装炉时气柱出现错位,导致气柱不处于产品的中心位置,还会出现一个炭炭预制体内存在两个气柱,导致气流不均匀,产品出炉后出现炭黑、预制体过早的表面结壳、内部沉积炭少等缺陷,影响产品沉积效果。
实用新型内容:
本实用新型的目的在于提供一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。
本实用新型的内容:一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件。
进一步的,所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管、连接直管和第二直角弯管,所述第一直角弯管的外圆周面、所述第二直角弯管的外圆周面均与所述连接直管的内圆周面滑动连接,所述第二直角弯管的另一端与导气直管的内圆周面滑动连接,所述第一直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合、所述第二直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合。
进一步的,在所述连接直管和所述导气直管内均同心的固定连接有限位卡环。
进一步的,在所述连接直管的两端外圆周面、所述导气直管的两端外圆周面上均开有螺纹通孔,所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉。
本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,设计可伸缩式导气管组件,可根据气柱偏移的位置调节长度,使进气口位于产品中心,保证每柱产品内有且只有一个进气口,确保炉内产品均匀通气,沉积效果良好,产品表面炭黑减少或无炭黑;提高了产品的沉积质量,值得大范围推广使用。
附图说明:
图1为本实用新型的内部结构剖视图;
图2为本实用新型沉积炉气柱的分布图;
图3为本实用新型的可伸缩式导气管组件的使用状态图;
图中,第一直角弯管1、连接直管2、第二直角弯管3、导气直管4、限位卡环5、锁紧螺钉6、沉积炉7、炭炭预制筒体8、气柱9、可伸缩式导气管组件10。
具体实施方式:
如图1至图3所示,一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件;所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管1、连接直管2和第二直角弯管3,所述第一直角弯管1的外圆周面、所述第二直角弯管3的外圆周面均与所述连接直管2的内圆周面滑动连接,所述第二直角弯管3的另一端与导气直管4的内圆周面滑动连接,所述第一直角弯管1与所述连接直管2之间为过渡配合、所述第二直角弯管3与所述连接直管2之间为过渡配合;在所述连接直管2和所述导气直管4内均同心的固定连接有限位卡环5;在所述连接直管2的两端外圆周面、所述导气直管4的两端外圆周面上均开有螺纹通孔,所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉6。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的