[实用新型]一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置有效

专利信息
申请号: 202021094718.9 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN212834018U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 张彦利;赵永尚;赵永雷;张全顺 申请(专利权)人: 内蒙古中晶科技研究院有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/26
代理公司: 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 代理人: 覃曼萍
地址: 010070 内蒙古自治*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 大型 沉积 调式 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件;本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,设计可伸缩式导气管组件,可根据气柱偏移的位置调节长度,使进气口位于产品中心,保证每柱产品内有且只有一个进气口,确保炉内产品均匀通气,沉积效果良好,产品表面炭黑减少或无炭黑;提高了产品的沉积质量,值得大范围推广使用。

技术领域:

本实用新型涉及管道混合器技术领域,具体为一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。

背景技术:

工业生产中利用大型气相沉积炉对炭炭复合材料进行气相沉积,通入天然气或丙烷等气体在高温下分解出碳原子,将其吸附于炭炭预制体内,而通入气体(气体由气柱排出)的气流均匀性决定了预制体沉积效果,现有的气相沉积炉按照设计只能装入设定尺寸的产品;但在实际生产中随着产品尺寸的增加,装炉时气柱出现错位,导致气柱不处于产品的中心位置,还会出现一个炭炭预制体内存在两个气柱,导致气流不均匀,产品出炉后出现炭黑、预制体过早的表面结壳、内部沉积炭少等缺陷,影响产品沉积效果。

实用新型内容:

本实用新型的目的在于提供一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。

本实用新型的内容:一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件。

进一步的,所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管、连接直管和第二直角弯管,所述第一直角弯管的外圆周面、所述第二直角弯管的外圆周面均与所述连接直管的内圆周面滑动连接,所述第二直角弯管的另一端与导气直管的内圆周面滑动连接,所述第一直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合、所述第二直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合。

进一步的,在所述连接直管和所述导气直管内均同心的固定连接有限位卡环。

进一步的,在所述连接直管的两端外圆周面、所述导气直管的两端外圆周面上均开有螺纹通孔,所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉。

本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,设计可伸缩式导气管组件,可根据气柱偏移的位置调节长度,使进气口位于产品中心,保证每柱产品内有且只有一个进气口,确保炉内产品均匀通气,沉积效果良好,产品表面炭黑减少或无炭黑;提高了产品的沉积质量,值得大范围推广使用。

附图说明:

图1为本实用新型的内部结构剖视图;

图2为本实用新型沉积炉气柱的分布图;

图3为本实用新型的可伸缩式导气管组件的使用状态图;

图中,第一直角弯管1、连接直管2、第二直角弯管3、导气直管4、限位卡环5、锁紧螺钉6、沉积炉7、炭炭预制筒体8、气柱9、可伸缩式导气管组件10。

具体实施方式:

如图1至图3所示,一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置,其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件;所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管1、连接直管2和第二直角弯管3,所述第一直角弯管1的外圆周面、所述第二直角弯管3的外圆周面均与所述连接直管2的内圆周面滑动连接,所述第二直角弯管3的另一端与导气直管4的内圆周面滑动连接,所述第一直角弯管1与所述连接直管2之间为过渡配合、所述第二直角弯管3与所述连接直管2之间为过渡配合;在所述连接直管2和所述导气直管4内均同心的固定连接有限位卡环5;在所述连接直管2的两端外圆周面、所述导气直管4的两端外圆周面上均开有螺纹通孔,所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉6。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中晶科技研究院有限公司,未经内蒙古中晶科技研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021094718.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top