[实用新型]一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置

权利要求书

1.一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管(1)、连接直管(2)和第二直角弯管(3)，所述第一直角弯管(1)的外圆周面、所述第二直角弯管(3)的外圆周面均与所述连接直管(2)的内圆周面滑动连接，所述第二直角弯管(3)的另一端与导气直管(4)的内圆周面滑动连接，所述第一直角弯管(1)与所述连接直管(2)之间为过渡配合、所述第二直角弯管(3)与所述连接直管(2)之间为过渡配合。

3.根据权利要求2所述一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：在所述连接直管(2)和所述导气直管(4)内均同心的固定连接有限位卡环(5)。

4.根据权利要求2所述的一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：在所述连接直管(2)的两端外圆周面、所述导气直管(4)的两端外圆周面上均开有螺纹通孔，所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉(6)。