[实用新型]一种多台单晶炉抽气管道

说明书

本实用新型公开了一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n‑1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n‑1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉(1)配备n‑1台真空泵(2)进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵(2)和其他生产资源，降低了每台单晶炉(1)的设备成本，节约单晶炉(1)生产过程中的电能和氩气等资源消耗。

技术领域

本实用新型涉及抽气管道技术领域，特别是涉及一种多台单晶炉抽气管道。

背景技术

目前的单晶炉设备一般都是每台单晶炉配置一台独立的真空泵，进行抽真空和保压操作，这样的配置容易造成很大的资源浪费。

具体的说，当单晶炉保压时，真空泵进行抽气保压操作，有时会因为真空泵的抽气速度过快，造成保压所使用气体(如氩气)的输出过大，从而造成氩气的浪费，间接的也会造成电能的浪费。当单晶炉抽真空时，一台真空泵抽真空所花费的时间太长(一般需要两个小时)，这造成了生产时间的极大浪费。

综上所述，如何有效地解决单晶炉抽真空和保压生产中所产生的资源浪费等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多台单晶炉抽气管道，该多台单晶炉抽气管道降低了每台单晶炉的设备成本，减少了单晶炉生产过程中的资源消耗。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉和n-1台并联连接的真空泵，n台所述单晶炉构成单晶炉模块，n-1台所述真空泵构成真空泵模块，所述单晶炉模块和所述真空泵模块通过管道串联连接，每台单晶炉和每台真空泵所在的支路上均设置有调节阀，n为大于等于3的自然数。

优选地，所述单晶炉的干路管道和所述真空泵的干路管道共用一条干路管道。

优选地，所述真空泵间隔设置于两台所述单晶炉之间。

优选地，所述调节阀设置于所述单晶炉和所述真空泵的支路分支点管道处。

优选地，所述调节阀为蝶阀。

优选地，所述单晶炉的数量为三台，真空泵的数量为两台，调节阀的数量为五个。

本实用新型所提供的多台单晶炉抽气管道，包括单晶炉、真空泵和调节阀，单晶炉的数量为n台，n为大于等于3的自然数，n台单晶炉并联连接，n台单晶炉构成单晶炉模块。真空泵的数量为n-1，n-1真空泵台并联连接，n-1台真空泵构成真空泵模块。需要说明的是真空泵为用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。单晶炉模块和真空泵模块通过管道串联连接，也就是n台单晶炉并联连接和n-1真空泵台并联连接后两者在串联连接。每台单晶炉所在的支路上和每台真空泵所在的支路上均设置有调节阀，调节阀可以控制所在支路的通断。

应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉配备n-1台真空泵进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵和其他生产资源，降低了每台单晶炉的设备成本，节约单晶炉生产过程中的电能和氩气等资源消耗；根据n台单晶炉的腔体状态，状态是指单晶炉是否处于抽真空/保持工作压/保持常压，来判定n-1台真空泵的开启与否，以及通过控制所有调节阀的开关和开启程度，可以控制真空泵抽气速度，减少了氩气的消耗量；真空泵有时可以关闭，减少了电能的消耗。

附图说明