[实用新型]一种多台单晶炉抽气管道

权利要求书

1.一种多台单晶炉抽气管道，其特征在于，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n-1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n-1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。

2.根据权利要求1所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述单晶炉(1)的干路管道和所述真空泵(2)的干路管道共用一条干路管道。

3.根据权利要求2所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述真空泵(2)间隔设置于两台所述单晶炉(1)之间。

4.根据权利要求3所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述调节阀(3)设置于所述单晶炉(1)和所述真空泵(2)的支路分支点管道处。

5.根据权利要求4所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述调节阀(3)为蝶阀。

6.根据权利要求1-5任一项所述的多台单晶炉抽气管道，其特征在于，所述单晶炉(1)的数量为三台，真空泵(2)的数量为两台，调节阀(3)的数量为五个。