[实用新型]一种SMT晶圆固定装置有效
| 申请号： | 202021048860.X | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN211879353U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 涂益霖 | 申请（专利权）人： | 弘前电子科技无锡有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 smt 固定 装置 | ||
1.一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒(1)，其特征在于：所述晶圆盒(1)的内壁滑动连接有限位箱(2)，所述晶圆盒(1)的左内壁和限位箱(2)的右内壁均固定安装有若干个竖向固定框(3)，所述晶圆盒(1)的内底壁固定安装有若干个横向固定框(4)，若干个所述横向固定框(4)和左侧竖向固定框(3)的内壁均搭接有晶圆(5)，所述晶圆盒(1)的正面和背面均固定安装有固定块(6)，所述固定块(6)的右侧面固定安装有固定杆(7)，所述固定杆(7)的右端转动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的左端开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定安装有轴承(9)，所述轴承(9)的内壁与固定杆(7)的右端表面固定连接，所述转杆(8)的右端开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆(10)，所述限位杆(10)的右端固定安装有衔接杆(11)，所述衔接杆(11)的侧面与限位箱(2)的右侧面固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述竖向固定框(3)和横向固定框(4)的内壁均固定连接有海绵层(12)。
3.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述限位箱(2)的正面和背面均固定安装有滑块(13)，所述晶圆盒(1)的内前壁和内后壁均开设有供滑块(13)滑动的滑槽。
4.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述限位杆(10)的左端表面开设有与螺纹槽适配的螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆盒(1)的上表面通过合页转动连接有盒盖(14)，所述盒盖(14)的上表面固定安装有用于打开盒盖(14)的把手(15)。
6.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述转杆(8)的表面套设有防滑橡胶套(16)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
