[实用新型]旋转装置及其晶舟装置

权利要求书

1.一种旋转装置，其特征在于，至少包括：

一底座(10)；

一固设于该底座(10)正上方的支撑座(11)；

一固设于该支撑座(11)正上方的平台(13)；

一固设于该平台(13)正上方的保温桶下部(14)，该保温桶下部(14)具有一形成法兰座结构中的座部(15)；

一设置于该平台(13)正上方且套接于该座部(15)上的加热器支架(16)；

一保温桶上部(17)，该保温桶上部(17)具有一形成法兰座结构中的管部(18)，该管部(18)以能够相对转动方式套接于该座部(15)上；以及

一加热器结构(19)；其中该加热器支架(16)由至少一支撑件(40)所支撑，其中该支撑件(40)一端接设于该加热器支架(16)，另一端则接设于该底座(10)上。

2.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，该加热器结构(19)设置于该保温桶上部(17)与该加热器支架(16)之间，或者该加热器结构(19)设置于该平台(13)与该支撑座(11)之间。

3.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，该加热器结构(19)包含：一容置槽(30)，其具有一顶端开口(31)及一容置空间(32)；一设于该容置槽(30)上方并被容置于该容置空间(32)内的层板(33)，该层板(33)顶面设有一沟槽(34)；一被容置于该沟槽(34)内部的加热线圈(35)，该加热线圈(35)电性连接至一电源线(12)。

4.如权利要求3所述的旋转装置，其特征在于，该加热器结构(19)包含一盖合于该顶端开口(31)并封闭该容置空间(32)的盖体(36)。

5.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，该加热器结构(19)为同心圆态样或八边形。

6.一种旋转装置，其特征在于，包括：

一底座(10)；

一固设于该底座(10)正上方的支撑座(11)；

一固设于该支撑座(11)正上方的保温桶下部(14)，该保温桶下部(14)具有一形成法兰座结构中的座部(15)；

一保温桶上部(17)，该保温桶上部(17)具有一形成法兰座结构中的管部(18)，该管部(18)以能够相对转动方式套接于该座部(15)上；

一套设于该支撑座(11)及该保温桶外围的加热器支架(16)；

一被该加热器支架(16)所支撑的加热器结构(19)；以及

一安装于该加热器结构(19)上的加热线圈(35)，该加热线圈(35)电性连接至一电源线(12)，借以连接外电；

其中该加热器支架(16)、该加热器结构(19)及该加热线圈(35)分别设有一直径大于该支撑座(11)外径的中央通孔，以容许该支撑座(11)以可自由转动方式穿过该加热器支架(16)、该加热器结构(19)及该加热线圈(35)；其中该加热器支架(16)一端设置于该保温桶上部(17)，另一端则接设于该底座(10)的上方。

7.一种晶舟装置，其特征在于，至少包括：

一晶舟本体(20)；

至少一个设置于该晶舟本体(20)上的挡片(21)；

数个被叠层放置于该晶舟本体(20)内的晶圆(22)；以及

一如权利要求1所述的旋转装置，该旋转装置中的保温桶上部(17)用以连接及支持该晶舟本体(20)，借以带动该晶舟本体(20)转动。

8.如权利要求7所述的晶舟装置，其特征在于，包括有一完全罩住该晶舟本体(20)的外罩(23)，其中该外罩(23)为高热传导率的外罩。