[实用新型]一种化学气相沉积炉的辅助进气装置

说明书

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置。化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括：炉体本体；抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽气泵之间；加热底座，所述加热底座设置在所述炉体本体的底部内壁上；真空泵，所述真空泵设置在所述炉体本体的顶部；放置平台，所述放置平台固定安装在所述炉体本体的一侧。本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置具有可以对气体进行混合，且混合效果好，进而提高反应效果的优点。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉的辅助进气装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

传统的化学气相沉积过程中需要通入多种气体，多种气体进入炉体中时，混合并不够均匀，影响反应效果，因此，有必要提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种可以对气体进行混合，且混合效果好，进而提高反应效果的化学气相沉积炉的辅助进气装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括：炉体本体；抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽气泵之间；加热底座，所述加热底座设置在所述炉体本体的底部内壁上；真空泵，所述真空泵设置在所述炉体本体的顶部；放置平台，所述放置平台固定安装在所述炉体本体的一侧。

优选的，所述混气机构包括混气箱、搅拌电机、搅拌桨、第一进气管、第二进气管、第三进气管和第一连接管，所述混气箱固定安装在所述放置平台上，所述搅拌电机固定安装在所述混气箱的顶部，所述搅拌桨固定安装在所述搅拌电机的输出轴上，所述第一进气管、所述第二进气管和所述第三进气管均设置在所述混气箱的一侧，所述第一连接管设置在所述抽气泵和所述混气箱之间。

优选的，所述第一连接管的内部设置有电磁阀。

优选的，所述混气箱的顶部开设有通孔，所述通孔的内部设置有密封轴承，所述密封轴承的外圈与所述通孔的内壁固定连接，所述密封轴承的内圈固定套设在所述搅拌桨上。

优选的，所述放置平台的材质为不锈钢材质。

优选的，所述炉体本体的一侧还固定安装有第一驱动马达，所述第一驱动马达的输出轴上固定安装有第一扰动叶片。

优选的，所述炉体本体的一侧固定安装有第二驱动马达，所述第二驱动马达的输出轴上固定安装有第二扰动叶片。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，把不同的气体通入到混气箱里，然后启动搅拌电机，搅拌桨带动不同的气体进行充分的混合，最后启动抽气泵，进入到第二连接管中，使其进入到炉体本体中进行反应，为了提高反应的效果，可以同时启动第一驱动马达和第二驱动马达，使得炉体本体内混合气体流动起来，提高反应的效果。

附图说明

图1为本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置第一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置第二实施例的示意图。