[实用新型]一种化学气相沉积炉的辅助进气装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，包括：

炉体本体；

抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；

混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；

第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽气泵之间；

加热底座，所述加热底座设置在所述炉体本体的底部内壁上；

真空泵，所述真空泵设置在所述炉体本体的顶部；

放置平台，所述放置平台固定安装在所述炉体本体的一侧。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述混气机构包括混气箱、搅拌电机、搅拌桨、第一进气管、第二进气管、第三进气管和第一连接管，所述混气箱固定安装在所述放置平台上，所述搅拌电机固定安装在所述混气箱的顶部，所述搅拌桨固定安装在所述搅拌电机的输出轴上，所述第一进气管、所述第二进气管和所述第三进气管均设置在所述混气箱的一侧，所述第一连接管设置在所述抽气泵和所述混气箱之间。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述第一连接管的内部设置有电磁阀。

4.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述混气箱的顶部开设有通孔，所述通孔的内部设置有密封轴承，所述密封轴承的外圈与所述通孔的内壁固定连接，所述密封轴承的内圈固定套设在所述搅拌桨上。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述放置平台的材质为不锈钢材质。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述炉体本体的一侧还固定安装有第一驱动马达，所述第一驱动马达的输出轴上固定安装有第一扰动叶片。

7.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，所述炉体本体的一侧固定安装有第二驱动马达，所述第二驱动马达的输出轴上固定安装有第二扰动叶片。