[实用新型]一种新型顶针机构有效
| 申请号： | 202021030100.6 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN211879360U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 李辉;张亚坤;王体 | 申请（专利权）人： | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 顶针 机构 | ||
1.一种新型顶针机构，包括针座(1)，其特征在于：所述针座(1)的一侧设置有顶针(2)，所述顶针(2)的另一侧连接有顶针锁母(3)，所述顶针锁母(3)的另一侧安装有顶针筒(4)，所述顶针筒(4)的另一侧安装有第一连接件(5)，所述第一连接件(5)的另一侧安装有直线轴套(6)，所述直线轴套(6)的另一侧连接有滚珠直线轴承(7)，所述滚珠直线轴承(7)的另一侧连接有第二连接件(12)，所述第二连接件(12)的背面设置有底座(14)。
2.根据权利要求1所述的一种新型顶针机构，其特征在于：所述底座(14)的正面设置有双交叉滚子滑轨(13)，所述双交叉滚子滑轨(13)与第二连接件(12)相适配。
3.根据权利要求1所述的一种新型顶针机构，其特征在于：所述顶针筒(4)的背面设置有真空连接头(15)，所述第一连接件(5)的正面设置有第二弹簧拉杆(16)。
4.根据权利要求1所述的一种新型顶针机构，其特征在于：所述滚珠直线轴承(7)与第二连接件(12)连接处设置有密封圈(8)。
5.根据权利要求1所述的一种新型顶针机构，其特征在于：所述第二连接件(12)的一侧正面安装有第一弹簧拉杆(9)，所述第二连接件(12)的另一侧正面安装有凸轮随动轮(11)。
6.根据权利要求1所述的一种新型顶针机构，其特征在于：所述顶针(2)在顶针筒(4)的内部连接有顶针杆(10)，所述顶针杆(10)的另一侧延伸至第二连接件(12)处。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
