[实用新型]激光加热装置及其激光加热闭环控制装置有效
申请号: | 202021013276.0 | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN211788944U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 王文;林佛迎 | 申请(专利权)人: | 深圳市微组半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G01J5/00 |
代理公司: | 深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙) 44581 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 加热 装置 及其 闭环控制 | ||
本实用新型涉及一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置,包括激光闭环镜组件、红外测温组件、以及控制组件;激光闭环镜组件安装在激光头出光的方向上,激光闭环镜组件内设有镜片组,使激光头射出的激光穿过和折射,激光闭环镜组件上设有供折射出的光线射出的出光口;红外测温组件与出光口相对,以测取折射出的激光的温度;控制组件分别与激光光纤耦合组件和红外测温组件通信连接,以根据测取的温度信息控制激光头射出的温度。激光加热闭环控制装置能测得激光的温度,并反馈给控制组件,能够精确控制温度和加热时间,返修的效率高,定位精准,并能够有效避免溢出热的产生。
技术领域
本实用新型涉及激光加热领域,更具体地说,涉及一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置。
背景技术
Mini/Micro LED性能优异,有望成为LED显示新趋势,采用Mini LED背光技术的LCD显示屏,在亮度,对比度、色彩还原和节能优于当今LCD显示器,甚至能与AMOLED竞争,同时还能控制生产成本。
技术进步带动MiniLED作为小间距显示产品升级。Mini LED作为小间距技术的延伸,在商用及家用显示领域有望迎来应用渗透。
四合一封装技术的突破是Mini LED产品落地的关键。COB是适用于Mini/MicroLED产品的核心封装技术,未来有很大的应用前景。Micro LED在消费电子和穿戴产品也有广泛应用前景,Micro LED显示的应用,因自发光的显示特性,搭配几乎无光耗元件的简易结构,即能实现低能耗或高亮度的显示器设计。
电子技术的飞速发展促使MiniLED朝向配线密度高、体型小巧和集成程度高的方向发展,当MiniLED电路板出现故障时,由于电路板的体型小巧、配线密度高且集成程度高的特点增加了MiniLED电路板的维修难度,所以在维修电路板时,通常使用MiniLED返修设备对电路板进行固定,然后进行维修,使用MiniLED返修设备进行维修时包括三个步骤:拆焊、贴装和焊接。
现有的MiniLED返修设备上设置可调节位置的夹持部,夹持部对电路板进行夹持紧固,在MiniLED返修设备设置热风枪,热风枪的出风口对准电路板上需要维修的位置,然后升高电路板上相应区域的温度,从而使焊锡熔化成液态,以取下元器件。
但是这种热风枪在加热时,出风口只能对电路板的部分区域进行加热,容易使电路板受热不均而导致元器件烧毁。当下主流的MiniLED芯片尺寸为5*9mil,芯片尺寸往微小化方向发展,并且在MiniLED背光电路板上面分布密集不规律,而且MiniLED背光电路板,用特殊材料制作,对温度很敏感,不能允许长时间大面积的溢出性加热。
当下返修该类型MiniLED芯片的电路板一般采用热风加热,红外加热,接触式加热器加热,传统的加热手段,热效率低下,能量利用率低,功率高,热量无法集中于目标芯片上,会有大量的热损失和大量溢出热,对返修工艺造成很大影响,而且会破坏MiniLED背光电路板,导致整个返修产线的产品良率低下,可批量返修性能不好。
光器件的产业现状是,MiniLED灯珠芯片逐步朝微小化方向发展,传统手工返修工艺对于该类型返修往往束手无策,也很容易良率低下,成本难以控制。
如MiniLED显示器在生产过程中的良率问题,一个70寸的Mini LED显示器屏上大约有30万Mini LED灯珠芯片,而且灯珠大小0.1-0.3mm为主,非常微小。传统方法难以将不良的MiniLED灯珠进行修复。那么良率低下产生的成本也就无法管控了。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,提供一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种激光加热闭环控制装置,包括激光闭环镜组件、红外测温组件、以及控制组件;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造