[实用新型]一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置

说明书

本实用新型提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括：一侧为开口的矩形处理箱；进气管，所述进气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；排气管，所述排气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；四个支腿，四个所述支腿均固定安装在所述矩形处理箱的底部，四个所述支腿呈矩形阵列分布；转轴，所述转轴转动密封安装在所述矩形处理箱的顶部与底部内壁上；减速电机，所述减速电机固定安装在所述矩形处理箱的顶部，所述减速电机的输出轴与所述转轴的顶端固定连接；四个上连板。本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置具有去油效果好、操作简单、移动方便的优点。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。

背景技术

气相沉积炉，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法，而且其应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，气相沉积炉内部的主体结构有加热室、混气罐、滑阀、过滤罐、真空电动蝶阀和加热磁性调节阀，且水冷电极和测温热电偶均是加热室中处理工件的核心部分，由于气相沉积炉在使用时，其尾部排出的尾气中不仅含有一些化学废气，并且由于其中的一些如真空阀在受热时会产生一定的油气，并会随着其他废气一起排进尾气处理设备进行最后的尾气处理。

现有技术中提出了一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括桶体和盖体，所述盖体位于所述桶体的上方，所述桶体的底部为向下凸起的曲面结构，所述桶体底部的中心设有排油口，所述桶体下方的侧面设有进气口，所述盖体上远离所述进气口的一侧设有排气口；所述桶体内部的支撑架上设有若干竖直设置的过滤布袋，所述过滤布袋顶部的水平高度低于所述排气口的底部，所述过滤布袋底部的水平高度低于所述进气口顶部的水平高度，且高于所述进气口底部的水平高度，虽然该实用新型采用上述结构的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，结构简单，有效去除气相沉积炉尾气中的油气，但是尾气在上升的过程中，由于其上的过滤布袋为静止状态，会有一部分尾气从中间穿插而过，这便导致去油效果较差，进而还会影响后续的尾气处理工作，并且该实用新型体积较大移动不便，当根据实际需求对该装置进行位置上的移动改变时，还需通过叉车吊车类工具进行移动，移动成本较高。

因此，有必要提供一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种去油效果好、操作简单、移动方便的气相沉积炉用尾气除油过滤装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，包括：一侧为开口的矩形处理箱；进气管，所述进气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；排气管，所述排气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；四个支腿，四个所述支腿均固定安装在所述矩形处理箱的底部，四个所述支腿呈矩形阵列分布；转轴，所述转轴转动密封安装在所述矩形处理箱的顶部与底部内壁上；减速电机，所述减速电机固定安装在所述矩形处理箱的顶部，所述减速电机的输出轴与所述转轴的顶端固定连接；四个上连板，四个所述上连板均设置在所述矩形处理箱内；四个下连板，四个所述下连板均设置在所述矩形处理箱内；四个第一吸油棉，四个所述第一吸油棉均通过螺栓分别固定安装在四个所述上连板的底部，四个所述第一吸油棉的底部分别与四个所述下连板固定连接；两个限位槽，两个所述限位槽分别开设在对应的所述上连板的顶部；两个架板，两个所述架板均固定安装在所述转轴上；两个螺杆，两个所述螺杆分别螺纹安装在两个所述架板上；两个定位柱，两个所述定位柱分别固定安装在两个所述螺杆的底端，所述定位柱的底端延伸至所述限位槽内，所述定位柱与所述限位槽相适配；螺帽，所述螺帽螺纹套设在所述排气管上；第二吸油棉，所述第二吸油棉设置在所述螺帽上。

优选的，所述转轴上转动密封套设有第一套筒，四个所述上连板相互靠近的一侧均与所述第一套筒固定连接，所述转轴上转动密封套设有第二套筒，四个所述下连板均与所述第二套筒固定连接。

优选的，所述矩形处理箱的一侧固定安装有排油管，所述排油管上设有油阀。