[实用新型]一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置

权利要求书

1.一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，包括：

一侧为开口的矩形处理箱；

进气管，所述进气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；

排气管，所述排气管固定安装在所述矩形处理箱的一侧；

四个支腿，四个所述支腿均固定安装在所述矩形处理箱的底部，四个所述支腿呈矩形阵列分布；

转轴，所述转轴转动密封安装在所述矩形处理箱的顶部与底部内壁上；

减速电机，所述减速电机固定安装在所述矩形处理箱的顶部，所述减速电机的输出轴与所述转轴的顶端固定连接；

四个上连板，四个所述上连板均设置在所述矩形处理箱内；

四个下连板，四个所述下连板均设置在所述矩形处理箱内；

四个第一吸油棉，四个所述第一吸油棉均通过螺栓分别固定安装在四个所述上连板的底部，四个所述第一吸油棉的底部分别与四个所述下连板固定连接；

两个限位槽，两个所述限位槽分别开设在对应的所述上连板的顶部；

两个架板，两个所述架板均固定安装在所述转轴上；

两个螺杆，两个所述螺杆分别螺纹安装在两个所述架板上；

两个定位柱，两个所述定位柱分别固定安装在两个所述螺杆的底端，所述定位柱的底端延伸至所述限位槽内，所述定位柱与所述限位槽相适配；

螺帽，所述螺帽螺纹套设在所述排气管上；

第二吸油棉，所述第二吸油棉设置在所述螺帽上。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述转轴上转动密封套设有第一套筒，四个所述上连板相互靠近的一侧均与所述第一套筒固定连接，所述转轴上转动密封套设有第二套筒，四个所述下连板均与所述第二套筒固定连接。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述矩形处理箱的一侧固定安装有排油管，所述排油管上设有油阀。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述螺杆的顶端固定安装有防滑转轮，所述排气管的外壁上设有螺纹段，所述螺帽的内壁与所述螺纹段相旋合，所述螺帽的一侧开设有圆孔，所述第二吸油棉固定安装在所述圆孔的内壁上。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述矩形处理箱的开口处通过螺栓固定安装有密封门。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述矩形处理箱的底部固定安装有顶部为开口的收纳盒，所述矩形处理箱的底部固定安装有两个油缸，所述油缸位于所述收纳盒内，两个所述油缸的输出轴固定安装有同一个连接板，所述连接板的底部固定安装有四个万向轮，四个所述万向轮呈矩形阵列分布。

7.根据权利要求6所述的气相沉积炉用尾气除油过滤装置，其特征在于，所述收纳盒的底部开设有出口，所述出口与所述连接板相适配。