[实用新型]一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置

说明书

一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中。本实用新型利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却，有效降低了电能消耗。

技术领域

本实用新型涉及电子束固化技术领域，尤其是一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置。

背景技术

电子束固化和焊接等领域中通常都需要用到氮气来隔绝氧气，大型的电子束设备通常对氮气的需求量很大，可达到200m³/h以上，一般采用液氮来作为氮气供应源。液氮在使用时，需要进行汽化，汽化过程需要吸收热量，而电子束设备本身有着较强的散热需求。现有技术并没有将汽化过程与散热过程相结合的技术方案，常用的冷却方案是使用水冷机，水冷机的功率在30kw左右，电能消耗较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却，有效降低了电能消耗。

本实用新型实施例提供一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中，所述第一电磁阀和第二电磁阀均为耐低温电磁阀。

优选的，所述适用于电子束设备的液氮冷量利用装置还包括控制器，所述输出管路设置有流量计，所述流量计、第一电磁阀和第二电磁阀均与控制器电连接。

优选的，所述水箱中设置有温度传感器，所述温度传感器与控制器电连接。

优选的，所述水箱设置有冷媒换热器，所述冷媒换热器与压缩机相连，所述压缩机与控制器电连接。

优选的，所述液氮换热器和输出管路之间的第二汽化管路设置有第二汽化器。

优选的，所述水箱连接有冷却水循环管路。

优选的，所述第一电磁阀和第一汽化器在第一汽化管路中沿气体流向顺次布置，所述第二电磁阀和液氮换热器在第二汽化管路中沿气体流向顺次布置。

本实用新型具有如下技术效果：本实用新型将汽化管路的液氮换热器设置在水箱中，液氮可以与水箱中的冷却水进行热交换，液氮吸热而汽化，冷却水放热而冷却，汽化的氮气通入输送通道维持低氧环境，冷却的水通入加速器以冷却电子束固化设备的铜窗和真空腔，起到一举多得的效果，同时控制器使得在不同用气量和不同室温条件下能保证用气量和加速器散热，并能够有效降低电能消耗。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。