[实用新型]一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置

权利要求书

1.一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中。

2.根据权利要求1所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述适用于电子束设备的液氮冷量利用装置还包括控制器，所述输出管路设置有流量计，所述流量计、第一电磁阀和第二电磁阀均与控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述水箱中设置有温度传感器，所述温度传感器与控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述水箱设置有冷媒换热器，所述冷媒换热器与压缩机相连，所述压缩机与控制器电连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述液氮换热器和输出管路之间的第二汽化管路设置有第二汽化器。

6.根据权利要求1-4任一项所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述水箱连接有冷却水循环管路。

7.根据权利要求1-4任一项所述的适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，其特征在于：所述第一电磁阀和第一汽化器在第一汽化管路中沿气体流向顺次布置，所述第二电磁阀和液氮换热器在第二汽化管路中沿气体流向顺次布置。