[实用新型]一种硅片花篮有效
申请号: | 202021010088.2 | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN212182286U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 杨斌 | 申请(专利权)人: | 东方日升(常州)新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 余成鹏 |
地址: | 213251 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 花篮 | ||
本实用新型公开了一种硅片花篮,包括花篮杆,花篮杆设有多个篮齿,各篮齿沿花篮杆轴向依序分布,相邻篮齿之间形成支撑硅片的槽,槽为圆弧形槽,优点是:不易脏污硅片和发生堵片,适应性好。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种硅片花篮。
背景技术
在制作太阳能电池片时,其中需要将装好硅片的花篮放入强碱液中制绒或放入酸性溶液中进行清洗。因此,用于装载硅片的花篮应该具备抗腐蚀性同时也不会对硅片造成污染。通常用于装载硅片的花篮具有六根花篮杆,用于固定多片硅片,其中四根花篮杆的表面具有花篮齿,用来放置硅片并将每个硅片隔开,六根花篮杆的两端分别固定在两个支撑板上。
电池片行业从125尺寸开始发展到现在166尺寸的硅片,整个生产流程都需要调整以匹配尺寸的变化,目前的干式花篮为线接触板式篮齿,使用PP板作为板式篮齿材料,篮齿为三角形,篮齿间距为4.755mm,在生产过程中容易累积脏污造成失效,另外,由于篮齿间距较小,因此,在各工序的自动化设备流转时会发生堵片,造成不良或者划伤失效。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:克服以上现有技术的缺陷,提出一种硅片花篮,不易脏污硅片和发生堵片,适应性好。
本实用新型所采取的技术方案是:一种硅片花篮,包括花篮杆,花篮杆设有多个篮齿,各篮齿沿花篮杆轴向依序分布,相邻篮齿之间形成支撑硅片的槽,槽为圆弧形槽。
采用以上技术方案后,本实用新型与现有技术相比具有以下优点:因为各篮齿沿花篮杆轴向依序分布,相邻篮齿之间形成支撑硅片的槽,槽为圆弧形槽,所以不易脏污硅片,另外,采用圆弧形槽,降低了齿厚度,从而增加了齿间距,不易发生堵片,适应性好。
作为优选,所述的圆弧形槽为半圆弧形槽,有利于支撑硅片,另外,结构较为简单。
作为优选,半圆弧形槽的半径取值范围为2mm-9mm,提供优选的尺寸,有利于避免脏污硅片和发生堵片。
作为优选,相邻半圆弧形槽所在圆的圆心位置之间的距离为4.76mm,即间距为4.76mm,优点是,该间距扩大了各工序的自动化运输设备的尺寸误差容忍窗口,避免了自动化导致的堵片不良,该改进能够提升良率。
作为优选,槽的横截面自下而上由宽变窄,支撑硅片时,自槽的底部向上,硅片接触面积越来越小,有利于避免脏污硅片。
作为优选,各篮齿的横截面为梯形,结构简单,易于制造。
作为优选,梯形的底角的取值范围为20°-50°,提供优选的角度,易于制造和提升性能。
作为优选,包括两个支撑板,分别为左支撑板和右支撑板,花篮杆的左端与左支撑板可拆式连接,花篮杆的右端与右支撑板可拆式连接,方便拆卸维护和维修。
作为优选,花篮杆包括碳棒和包裹住碳棒的PVDF层,篮齿和圆弧形槽设于PVDF层,强度高,重量轻,坚固耐用。
附图说明
图1是本实用新型硅片花篮的主视图。
图2是图1的俯视图。
图3是一根花篮杆的结构示意图。
图4是图3的左视放大图。
图5是底角的事宜图。
图6是A放大示意图。
其中,1、左支撑板,2、右支撑板,3、花篮杆,4、底部杆,5、篮齿,6、槽,7、底角。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造