[实用新型]一种晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：

呈直线排布的进料工位（1）和若干清洗工位（2），以及用于将晶圆篮（9）从进料工位（1）输送到清洗工位（2）或者将晶圆篮（9）在不同清洗工位（2）上传输的输送机构（3）；

所述进料工位（1）包括：

工作台（11），所述工作台（11）设置有用于固定晶圆篮（9）的第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113），其中第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）成“L”形布置，且第一固定座（111）与第二固定座（112）、第二固定座（112）与第三固定座（113）之间的所述工作台（11）上成型有让位槽（114），让位槽（114）也为“L”形布置；所述让位槽（114）的宽度小于晶圆篮宽度；

第一传输组件（12），位于所述工作台（11）下方，用于将晶圆篮（9）从第一固定座（111）运输到第二固定座（112）上；

第二传输组件（13），位于所述工作台（11）下方，用于将晶圆篮（9）从第二固定座（112）运输到第三固定座（113）上；

所述输送机构（3）包括

水平安装架（21），所述水平安装架（21）上设置有水平滑轨（211）；

机械手组件（22），包括设置在水平滑轨（211）上的水平滑动座（221），所述水平滑动座（221）上安装有竖直滑轨（222），所述竖直滑轨（222）上设置有竖直滑动座（224）；

所述竖直滑动座（224）上设置有两个平行的水平布置的转动轴（225），所述转动轴（225）上分别设置有抓取架（226），抓取架（226）包括U形的支撑架（2261），通过紧固螺母（2263）固定在支撑架（2261）上的伸入U形的支撑架（2261）内的U形抓取杆（2262），抓取杆（2262）与支撑架（2261）形成长方形框架结构；

水平驱动件（212）驱动水平滑动座（221）在水平滑轨（211）上运动；

升降驱动件（223）驱动竖直滑动座（224）在竖直滑轨（222）上运动；

旋转驱动件（227）驱动两个平行的水平布置的转动轴（225）向相反方向转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块（151）。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述挡块（151）的内壁为斜面（152）。

4.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述让位槽（114）包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座（111）分别位于横向槽的一端，第二固定座（112）位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座（113）位于纵向槽末端。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，第一传输组件（12）和第二传输组件（13）均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽（114）的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降以将第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）上的晶圆篮（9）顶起或者放下。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述晶圆篮（9）的两侧边具有若干平行的固定槽（91），晶圆（92）被固定于固定槽（91）中。