[实用新型]一种曝光机自动赶气装置

说明书

本实用新型公开了一种曝光机自动赶气装置，包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件，所述连接抽真空组件设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上，所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间设有工作区间，所述抽真空工作台设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨，所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块。本实用新型属于曝光机技术领域，具体是提供了一种可进行往复运动排气并通过角度的可调节性及弹力贴合设置可增强排气贴合度进而增强赶气效果的曝光机自动赶气装置。

技术领域

本实用新型属于曝光机技术领域，具体是指一种曝光机自动赶气装置。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上，集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，其广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域，PCB加工的质量、精度等问题取决于曝光机的性能，曝光过程是先把底片对位，贴在经过压附后的镀铜版上面，再放入曝光机的晒架中抽真空，使底片和镀铜板上的膜面紧密地贴合在一起，然后使晒架进入曝光室，用紫外线对底片进行曝光，传统式抽真空曝光机赶排气依靠人工方式，存在每次赶排气力度不一致，造成真空度差异较大产品质量不稳定，操作人员疲劳程度较高等问题。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种可使自动赶气轮于抽真空工作台上做往复运动排气，并通过角度的可调节性及弹力贴合设置可增强自动赶气轮和抽真空工作台的贴合度进而增强赶气效果，代替手工排气的传统方式赶排气力度不一致，造成真空度差异较大产品质量不稳定的问题，并可降低操作人员疲劳程度曝光机自动赶气装置。

本实用新型采取的技术方案如下：本实用新型一种曝光机自动赶气装置，包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件，所述连接抽真空组件设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上，所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间连接抽真空组件一侧设有工作区间，所述抽真空工作台设于工作区间内且位于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨，所述往复式赶气滑轨设于工作区间内且位于赶气驱动组件腔底部，所述往复式驱动组件设于赶气驱动组件腔且可于往复式赶气滑轨上滑动，所述贴合式赶气杆设于往复式驱动组件上，所述自动赶气轮设于贴合式赶气杆上，所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块，所述驱动转盘可旋转设于赶气驱动组件腔内，所述驱动电机设于赶气驱动组件腔内且输出端设于驱动转盘上，所述驱动转盘上偏心设有凸起转头，所述滑动块可滑动设于往复式赶气滑轨内，所述横向驱动板竖向设于滑动块上，所述横向驱动板内镂空设有条形通孔，所述横向驱动板通过条形通孔套设于凸起转头上，当驱动转盘带动凸起转头做圆周运动时，凸起转头的切向运动状态可分解为竖向运动和横向运动，而竖向运动作用使凸起转头于条形通孔内滑动而不对横向驱动板产生影响，而横向运动则带动横向驱动板及滑动块于往复式赶气滑轨内做横向往复运动，所述连接块设于滑动块上且位于往复式赶气滑轨下方，所述贴合式赶气杆铰接于连接块上。

进一步地，所述连接块上铰接有限位杆，所述限位杆上设有限位套环，所述贴合式赶气杆上均匀布设有限位头，将限位套环套接在不同限位头上可调整和固定贴合式赶气杆和曝光机底座之间的角度。

进一步地，所述贴合式赶气杆包括赶气套杆、弹簧和贴合内杆，所述弹簧设于赶气套杆内，所述贴合内杆可滑动设于赶气套杆内且和弹簧连接，所述自动赶气轮设于贴合内杆上，弹簧产生的弹力可增强自动赶气轮和抽真空工作台的贴合度，进而增强赶气效果。

进一步地，所述抽真空工作台内设有导气条。

进一步地，所述连接抽真空组件包括连接抽真空腔和抽真空泵，所述抽真空泵设于连接抽真空腔内，所述抽真空泵和导气条连接。