[实用新型]一种曝光机自动赶气装置有效

专利信息
申请号: 202021004569.2 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN211786591U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 谭巨华;田书鼎 申请(专利权)人: 东莞市钜升金属科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 屠佳婕
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 自动 装置
【权利要求书】:

1.一种曝光机自动赶气装置,其特征在于:包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件,所述连接抽真空组件设于曝光机底座上,所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上,所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间连接抽真空组件一侧设有工作区间,所述抽真空工作台设于工作区间内且位于曝光机底座上,所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨,所述往复式赶气滑轨设于工作区间内且位于赶气驱动组件腔底部,所述往复式驱动组件设于赶气驱动组件腔且可于往复式赶气滑轨上滑动,所述贴合式赶气杆设于往复式驱动组件上,所述自动赶气轮设于贴合式赶气杆上,所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块,所述驱动转盘可旋转设于赶气驱动组件腔内,所述驱动电机设于赶气驱动组件腔内且输出端设于驱动转盘上,所述驱动转盘上偏心设有凸起转头,所述滑动块可滑动设于往复式赶气滑轨内,所述横向驱动板竖向设于滑动块上,所述横向驱动板内镂空设有条形通孔,所述横向驱动板通过条形通孔套设于凸起转头上,所述连接块设于滑动块上且位于往复式赶气滑轨下方,所述贴合式赶气杆铰接于连接块上。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机自动赶气装置,其特征在于:所述连接块上铰接有限位杆,所述限位杆上设有限位套环,所述贴合式赶气杆上均匀布设有限位头。

3.根据权利要求1所述的一种曝光机自动赶气装置,其特征在于:所述贴合式赶气杆包括赶气套杆、弹簧和贴合内杆,所述弹簧设于赶气套杆内,所述贴合内杆可滑动设于赶气套杆内且和弹簧连接,所述自动赶气轮设于贴合内杆上。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机自动赶气装置,其特征在于:所述抽真空工作台内设有导气条。

5.根据权利要求4所述的一种曝光机自动赶气装置,其特征在于:所述连接抽真空组件包括连接抽真空腔和抽真空泵,所述抽真空泵设于连接抽真空腔内,所述抽真空泵与导气条连接。

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