[实用新型]石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟

权利要求书

1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括固定部以及设置在所述固定部两端的卡点部；

其中，每个所述卡点部包括：

承载部，与所述固定部连接；以及

卡接部，与所述承载部远离所述固定部的一端连接，所述卡接部面向所述固定部的一端的端面作为抵接面，所述抵接面、所述承载部的周壁以及所述固定部的端面共同限定卡槽，所述抵接面设有凹槽。

2.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述抵接面与所述凹槽的连接处圆滑过渡。

3.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述抵接面与所述卡接部的周壁的连接处圆滑过渡。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述卡接部由第一端向第二端延伸所得，所述抵接面为所述第一端的端面，所述卡接部的部分或全部自第一端向第二端逐渐扩张。

5.根据权利要求4所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述卡接部的部分或全部自第一端向第二端逐渐扩张形成圆台状。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述固定部、所述承载部以及所述卡接部同轴连接。

7.根据权利要求1-3任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述固定部、所述承载部均为圆柱体。

8.一种石墨舟片，其特征在于，所述石墨舟片设有多个用于安装硅片的安装仓，所述安装仓的周边安装有多个如权利要求1所述的石墨舟卡点。

9.一种石墨舟，适于装载于镀膜炉管内，其特征在于，其包括多个并列间隔布置的如权利要求8所述石墨舟片，以及连接多个所述石墨舟片的多个陶瓷杆。

10.根据权利要求9所述的石墨舟，其特征在于，所述安装仓用于安装边长210mm的硅片时，所述石墨舟的对角线长度为405mm，所述镀膜炉管的直径为450mm。