[实用新型]用于掩膜版的加热装置

说明书

本实用新型公开了一种用于掩膜版的加热装置，包括加热板，加热板上布置有垂直于加热板的顶针，掩膜版布置在顶针上的表面，所述顶针包括顶杆和布置顶杆上部的顶帽；所述顶杆和顶帽螺纹连接，顶杆上设置有螺纹孔，顶帽上设置有与螺纹孔匹配的螺纹杆；相比于传统整体式的顶针而言，本实用新型将顶针设置为分离式的顶杆和顶帽，且顶杆和顶帽螺纹连接，通过旋转顶帽进而使顶针的高度持续可调，进而保证了顶针上表面掩膜版的水平度，使掩膜版受热均匀，提高了掩膜版的质量；且本装置结构简单、调节方便。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，尤其是一种用于掩膜版的加热装置。

背景技术

平板显示是电子信息产业的支柱之一，近年来各种类型平板显示器件随着生产技术的不断提高已进入到加速发展时期，而我国也成为全球面板产业的最重要生产基地。掩膜版又称光罩、光掩膜版，(英文名Photo Mask，简称Mask)，它作为平板显示制造过程中最重要的核心关键材料，在平板显示器件制造的光刻工艺中起到曝光掩蔽作用，直接决定了平板显示终端产品的品质。

在掩膜版的生产制造过程中，掩膜版基板在光阻涂布后会有一个烘烤的环节，又称为前烘(Pre-Bake)或者软烘(Soft-Bake)，目的是用加热蒸发的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶剂，增强光阻与掩膜版基板之间的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同时，涂覆光阻后的掩膜版在曝光显影后也需要做显影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、残留溶剂和消除驻波效应。

目前，主要采用加热板的方式进行涂布后的烘烤，即涂布好光阻的掩膜版基板置于带有加热系统的加热板上，通过热传导的方式进行烘烤。由于光掩膜版品质要求很高，因此加热时掩膜版不能与加热板直接接触，需要在加热板上设置顶针，同时顶针要需具备升降功能，一方面是为了方便机械手夹取掩膜版，另一方面可调节顶针上掩膜版与加热板的距离，进而调节掩膜版的受热温度。顶针的升降主要是通过马达驱动来实现，其升降机构结构复杂、操作困难；且很难精确的控制每一个顶针的安装高度。当顶针之间的高度相差较大时，掩膜版在烘烤时基板会发生倾斜，直接影响基板的整体水平度，造成掩膜版基板受热不均，导致光阻固化不均匀，进而影响掩膜版图形质量及精度。

实用新型内容

本实用新型为解决传统顶针的升降机构复杂和不能精确控制顶针的升降高度的技术问题是提供一种用于掩膜版的加热装置。

本实用新型所采用的技术方案是：用于掩膜版的加热装置，包括加热板，加热板上布置有垂直于加热板的顶针，掩膜版布置在顶针上的表面，所述顶针包括顶杆和布置顶杆上部的顶帽；所述顶杆和顶帽螺纹连接，顶杆上设置有螺纹孔，顶帽上设置有与螺纹孔匹配的螺纹杆。

相比于传统整体式的顶针而言，本实用新型将顶针设置为分离式的顶杆和顶帽，且顶杆和顶帽螺纹连接，通过旋转顶帽进而使顶针的高度持续可调，进而保证了顶针上表面掩膜版的水平度，使掩膜版受热均匀，提高了掩膜版的质量；且本装置结构简单、调节方便。

进一步的是，所述顶杆上设置有沿顶杆轴向布置的刻度线。可精确的调节顶针的高度，进而有效保证顶针上表面掩膜版的水平度。

进一步的是，所述刻度线的最小量程为1mm，最大量程为100mm。进一步提高顶针的安装精度。

进一步的是，所述顶帽远离螺纹杆的一端为锥形。顶帽与掩膜版接触，锥形的顶帽可使掩膜版暴露的面积更大，保证掩膜版受热均匀，有利于提高掩膜版质量。

进一步的是，所述顶帽锥形的端部设置有平直的凸台。相比于尖锐的端部而言，平直的凸台与掩膜版接触面积更大，可以有效减小应力集中，避免顶帽刺伤掩膜版。

进一步的是，所述凸台上设置有纹路。纹路增大了凸台和掩膜版之间的摩擦力，可避免顶针上表面的掩膜版滑落。