[实用新型]用于掩膜版的加热装置

权利要求书

1.用于掩膜版的加热装置，包括加热板(1)，加热板(1)上布置有垂直于加热板(1)的顶针(2)，掩膜版(3)布置在顶针(2)的上表面，其特征在于，

所述顶针(2)包括顶杆(21)和布置顶杆(21)上部的顶帽(22)；

所述顶杆(21)和顶帽(22)螺纹连接，顶杆(21)上设置有螺纹孔(210)，顶帽(22)上设置有与螺纹孔(210)匹配的螺纹杆(220)。

2.如权利要求1所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述顶杆(21)上设置有沿顶杆轴向布置的刻度线(211)。

3.如权利要求2所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述刻度线(211)的最小量程为1mm，最大量程为100mm。

4.如权利要求1所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述顶帽(22)远离螺纹杆(220)的一端为锥形。

5.如权利要求4所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述顶帽(22)锥形的端部设置有平直的凸台(221)。

6.如权利要求5所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述凸台(221)上设置有纹路(2210)。

7.如权利要求1所述的用于掩膜版的加热装置，其特征在于，所述顶帽(22)由高强树脂制成，所述顶杆(21)由不锈钢制成。