[实用新型]一种芯片背面检测用组合工装

权利要求书

1.一种芯片背面检测用组合工装，包括定位板（1），其特征在于：所述定位板（1）的底部两端均固定连接有第一支柱（2），所述定位板（1）的顶部两端均固定连接有第二支柱（4），所述定位板（1）的内部卡接有均匀分布的芯片本体（6），所述第二支柱（4）之间滑动连接有固定板（5），所述固定板（5）的底部固定连接有支杆（503），所述支杆（503）的端部固定连接有固定块（502），所述固定块（502）抵紧在芯片本体（6）的边部端面上，所述第二支柱（4）的上部两侧均滑动连接有滑块（403），所述滑块（403）的底部抵紧固定在固定板（5）上。

2.根据权利要求1所述的一种芯片背面检测用组合工装，其特征在于：所述定位板（1）上设有均匀分布的定位槽（101），所述定位槽（101）与芯片本体（6）相匹配连接，所述定位槽（101）的下部槽壁上固定连接有三个呈环形阵列设置的定位块（102），所述固定块（502）卡接在芯片本体（6）的边部端面上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片背面检测用组合工装，其特征在于：所述定位槽（101）对应的固定板（5）上设有均匀分布的固定槽（501），所述固定槽（501）与定位槽（101）一一对应，所述支杆（503）设有三个且呈环形阵列设置在固定槽（501）的底部，所述固定块（502）和定位块（102）相对应设置且内侧上均固定连接有橡胶垫（7）。

4.根据权利要求1所述的一种芯片背面检测用组合工装，其特征在于：所述第一支柱（2）和第二支柱（4）的端部均固定连接有防滑垫脚（3），所述固定板（5）的两端均设有与第二支柱（4）相匹配连接的导向孔（504）。

5.根据权利要求1所述的一种芯片背面检测用组合工装，其特征在于：所述第二支柱（4）的上部两侧均设有滑槽（401），所述滑槽（401）与滑块（403）相匹配连接，所述滑块（403）的内侧均通过弹簧（402）与滑槽（401）的侧壁固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种芯片背面检测用组合工装，其特征在于：所述滑槽（401）上下端的槽壁上均设有限位槽（405），所述滑块（403）的上下端均固定连接有限位块（404），所述限位块（404）与限位槽（405）相匹配连接。