[实用新型]一种高精度高效率的激光加工装置

说明书

本实用新型公开了一种高精度高效率的激光加工装置，包括：基座，所述基座用于安装光路传输系统、三轴运动系统、以及控制系统；光路传输系统，所述光路传输系统用于发射光束和调整光束，并射向并行加工系统；三轴运动系统，所述三轴运动系统用于控制工件的二维运动及并行加工系统的上下移动；并行加工系统，所述并行加工系统用于对待工件进行加工；控制系统，所述控制系统用于控制光路传输系统、三轴运动系统。本实用新型通过采用并行加工系统实现多个工件采用同一设备进行加工，既提高工作效率又节省成本；同时采用旁轴定位系统和焦距测量模块，保证了加工的精准度。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种高精度高效率的激光加工装置。

背景技术

近些年来，随着激光器的应用范围不断的扩大，各种激光器被广泛应用于激光加工、光谱分析和医疗领域。

随着激光器的不断发展以及超快激光器的诞生，激光加工的应用变得越来越普遍。超快激光器作为加工能源，超短脉冲激光依靠极高功率密度在极短时间内直接打断材料分子键，破、坏表层物质的微爆炸机理实现材料去除，由于作用时间短，使得能量以等离子体的形式被迅速带走，从而可实现无重铸层的高效、高精度的冷加工。

社会经济与科技的不断发展，工业4.0的提出，在满足加工要求的前提下，加工效率的提高也是需要考虑的，效率的提高，不仅是设备所能创造的价值的提高，也是科技发展速度的提高。

实用新型内容

本实用新型提供种高精度高效率的激光加工装置，可进行超快激光的高精密加工，同时可并行加工多个工件，用以提高生产效率。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其他优点，提供了一种高精度高效率的激光加工装置，包括：

基座，所述基座用于安装光路传输系统、三轴运动系统、以及控制系统，所述基座包括底座、设立在所述底座上的至少一个立柱、以及横梁；

光路传输系统，所述光路传输系统用于发射光束和调整光束，并射向并行加工系统，所述光路传输系统包括激光器、设立在所述激光器上的扩束镜组件、至少一个反射镜、以及至少一个二维光路平移组件；

三轴运动系统，所述三轴运动系统用于控制工件的二维运动及并行加工系统的上下移动，所述三轴运动系统包括X轴驱动模块、Y轴驱动模块、以及Z轴驱动模块，所述X轴驱动模块设立在所述基座的底座上，所述Y轴驱动模块设立在所述X轴驱动模块上且相互垂直，所述Z轴驱动模块设立在所述横梁上且与X轴驱动模块和Y轴驱动模块垂直；

并行加工系统，所述并行加工系统用于对待工件进行加工，所述并行加工系统包括至少一个加工模块，所述并行加工系统安装在所述三轴运动系统的Z轴驱动模块上；

控制系统，所述控制系统用于控制光路传输系统、三轴运动系统。

优选的，所述X轴驱动模块上还设有X轴运动连接板，所述X轴运动连接板上安装Y轴驱动模块。所述Y轴驱动模块上还设有Y轴运动连接板，所述Y轴运动连接板上安装工件连接板。所述Z轴驱动模块上还设有Z轴运动连接板，所述Z轴运动连接板上安装并行加工系统。所述X轴驱动模块、Y轴驱动模块、Z轴驱动模块分别采用集成好的高精度直线模组。

优选的，所述X轴驱动模块、Y轴驱动模块、Z轴驱动模块还可采用直线驱动机构，所述直线驱动机构包括导轨、驱动电机、丝杠以及高精度光栅尺模块。

优选的，所述加工模块包括分光模块和聚焦模块，所述分光模块对光束进行整形，调整光束偏振方向，并进行分光处理形成反射光和透射光，所述反射光键入与之配套的聚焦模块进行加工，所述透射光进入下一个加工模块的分光模块。

优选的，所述激光加工装置还包括用于检测加工过程中工件多次定位的旁轴定位系统。