[实用新型]一种高精度高效率的激光加工装置

权利要求书

1.一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，包括：

基座，所述基座用于安装光路传输系统、三轴运动系统、以及控制系统，所述基座包括底座、设立在所述底座上的至少一个立柱、以及横梁；

光路传输系统，所述光路传输系统用于发射光束和调整光束，并射向并行加工系统，所述光路传输系统包括激光器、设立在所述激光器上的扩束镜组件、至少一个反射镜、以及至少一个二维光路平移组件；

三轴运动系统，所述三轴运动系统用于控制工件的二维运动及并行加工系统的上下移动，所述三轴运动系统包括X轴驱动模块、Y轴驱动模块、以及Z轴驱动模块，所述X轴驱动模块设立在所述基座的底座上，所述Y轴驱动模块设立在所述X轴驱动模块上且相互垂直，所述Z轴驱动模块设立在所述横梁上且与X轴驱动模块和Y轴驱动模块垂直；

并行加工系统，所述并行加工系统用于对待工件进行加工，所述并行加工系统包括至少一个加工模块，所述并行加工系统安装在所述三轴运动系统的Z轴驱动模块上；

控制系统，所述控制系统用于控制光路传输系统、三轴运动系统。

2.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述X轴驱动模块上还设有X轴运动连接板，所述X轴运动连接板上安装Y轴驱动模块。

3.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述Y轴驱动模块上还设有Y轴运动连接板，所述Y轴运动连接板上安装工件连接板。

4.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述Z轴驱动模块上还设有Z轴运动连接板，所述Z轴运动连接板上安装并行加工系统。

5.如权利要求1、2、3和4任一项所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，X轴驱动模块、Y轴驱动模块、Z轴驱动模块分别采用集成好的高精度直线模组。

6.如权利要求5所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，还可采用直线驱动机构，所述直线驱动机构包括导轨、驱动电机、丝杠以及高精度光栅尺模块。

7.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述加工模块包括分光模块和聚焦模块，所述分光模块对光束进行整形，调整光束偏振方向，并进行分光处理形成反射光和透射光，所述反射光键入与之配套的聚焦模块进行加工，所述透射光进入下一个加工模块的分光模块。

8.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括用于检测加工过程中工件多次定位的旁轴定位系统。

9.如权利要求1所述的一种高精度高效率的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括用于测量加工点距离并对距离偏差进行修正的焦距测量模块，所述焦距测量模块包括测距传感器和数控系统。