[实用新型]一种沉积金刚石涂层的装置有效

专利信息
申请号: 202020959187.9 申请日: 2020-06-01
公开(公告)号: CN212335280U 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 杨阔 申请(专利权)人: 河南赞碳科技有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/458
代理公司: 郑州三阳专利代理事务所(普通合伙) 41175 代理人: 范向南
地址: 476200 河南省商丘市柘*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 沉积 金刚石 涂层 装置
【权利要求书】:

1.一种沉积金刚石涂层的装置,包括箱体,其特征在于:所述箱体内侧设置有转动杆,所述转动杆右部贯穿所述箱体,且转动杆与箱体右壁转动连接,所述转动杆的右部连接有驱动组件,所述转动杆中部均匀固定有若干个限位件,所述限位件左右两侧对称固定有第一齿轮,所述第一齿轮上侧啮合有第二齿轮,第二齿轮内部为空心结构,每组第二齿轮之间固定有夹具,所述夹具内侧夹持有模具,所述模具内侧中心位置处贯穿有加热丝,所述加热丝左右两端均连接有电极,电极外侧固定有绝热板,所述加热丝左侧的绝热板外侧连接有牵引绳,牵引绳中部下侧设置有滑轮,牵引绳下端连接有弹簧,所述加热丝上侧设置有贯穿模具内孔的气管,所述气管下侧均设有若干排气口,所述气管左侧设置有支撑环,所述支撑环上侧连接有支撑架,所述箱体左侧连接有真空泵,所述箱体上侧设置有甲烷罐,甲烷罐右侧连接有第一气阀,第一气阀下侧与气管连接,所述甲烷罐左侧设置有氢气罐,所述氢气罐下侧连接有第二气阀,第二气阀下侧连接于箱体上侧。

2.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述驱动组件包括电机,所述电机左侧连接有减速器,所述减速器左侧连接有制动器,所述制动器左侧连接所述转动杆。

3.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述限位件的截面为环形,所述转动杆贯穿所述限位件。

4.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述气管为耐高温金属管。

5.根据权利要求4所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述气管下侧的排气口的设置于靠近模具内侧的位置。

6.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述转动杆左端转动连接有转动杆支架,所述转动杆的左端和右部均设置有支撑其旋转的轴座。

7.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述加热丝右侧的绝热板与箱体固定连接,所述电极与加热板通过螺栓固定连接。

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