[实用新型]一种沉积金刚石涂层的装置有效
| 申请号: | 202020959187.9 | 申请日: | 2020-06-01 |
| 公开(公告)号: | CN212335280U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
| 发明(设计)人: | 杨阔 | 申请(专利权)人: | 河南赞碳科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/458 |
| 代理公司: | 郑州三阳专利代理事务所(普通合伙) 41175 | 代理人: | 范向南 |
| 地址: | 476200 河南省商丘市柘*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 沉积 金刚石 涂层 装置 | ||
1.一种沉积金刚石涂层的装置,包括箱体,其特征在于:所述箱体内侧设置有转动杆,所述转动杆右部贯穿所述箱体,且转动杆与箱体右壁转动连接,所述转动杆的右部连接有驱动组件,所述转动杆中部均匀固定有若干个限位件,所述限位件左右两侧对称固定有第一齿轮,所述第一齿轮上侧啮合有第二齿轮,第二齿轮内部为空心结构,每组第二齿轮之间固定有夹具,所述夹具内侧夹持有模具,所述模具内侧中心位置处贯穿有加热丝,所述加热丝左右两端均连接有电极,电极外侧固定有绝热板,所述加热丝左侧的绝热板外侧连接有牵引绳,牵引绳中部下侧设置有滑轮,牵引绳下端连接有弹簧,所述加热丝上侧设置有贯穿模具内孔的气管,所述气管下侧均设有若干排气口,所述气管左侧设置有支撑环,所述支撑环上侧连接有支撑架,所述箱体左侧连接有真空泵,所述箱体上侧设置有甲烷罐,甲烷罐右侧连接有第一气阀,第一气阀下侧与气管连接,所述甲烷罐左侧设置有氢气罐,所述氢气罐下侧连接有第二气阀,第二气阀下侧连接于箱体上侧。
2.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述驱动组件包括电机,所述电机左侧连接有减速器,所述减速器左侧连接有制动器,所述制动器左侧连接所述转动杆。
3.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述限位件的截面为环形,所述转动杆贯穿所述限位件。
4.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述气管为耐高温金属管。
5.根据权利要求4所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述气管下侧的排气口的设置于靠近模具内侧的位置。
6.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述转动杆左端转动连接有转动杆支架,所述转动杆的左端和右部均设置有支撑其旋转的轴座。
7.根据权利要求1所述的沉积金刚石涂层的装置,其特征在于:所述加热丝右侧的绝热板与箱体固定连接,所述电极与加热板通过螺栓固定连接。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





