[实用新型]大尺寸石英坩埚熔制设备电极控制机构有效
| 申请号: | 202020958563.2 | 申请日: | 2020-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN213865916U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
| 发明(设计)人: | 宫耀旺;裴庆军;高佳龙;李楠;李玉龙 | 申请(专利权)人: | 锦州万得机械装备有限公司;锦州得晟光伏设备有限公司 |
| 主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B5/02;C03B5/16 |
| 代理公司: | 大连万友专利代理有限公司 21219 | 代理人: | 赵敬一 |
| 地址: | 121007 辽宁省锦*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 尺寸 石英 坩埚 设备 电极 控制 机构 | ||
1.大尺寸石英坩埚熔制设备电极控制机构,包括电极开闭机构,其特征在于:还包括升降机构,升降机构包括伺服电机、丝杠传动系统、导套、平衡气缸和储气罐,电极开闭机构固定连接于导套,伺服电机通过丝杠传动系统驱动两个平行丝杠,丝杠带动套装在丝杠上的导套上下移动,电极开闭机构还连接于平衡气缸,两个平衡气缸对称分布在电极开闭机构上方的两侧,气缸的活塞杆带动电极开闭机构上下移动;电极开闭机构上还设有储气罐,气缸的一个腔室连通于储气罐。
2.如权利要求1所述的大尺寸石英坩埚熔制设备电极控制机构,其特征在于:所述电极开闭机构包括电极、电极夹持机构、回转摆杆、固定转座,回转摆杆以及固定转座均与电极夹持机构铰接,电极固定于电极夹持机构上,电极夹持机构连接于导套,并随导套上下移动,回转摆杆驱动导套以固定转座为回转支点转动。
3.如权利要求2所述的大尺寸石英坩埚熔制设备电极控制机构,其特征在于:所述电极夹持机构包括两个夹持臂,两个夹持臂之间保持一段距离。
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