[实用新型]一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置

说明书

一种POLY‑Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的顶端均通过焊接方式连接上挡板，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板。本实用新型通过下支撑挡板实现石英舟在桨上稳定放置，通过四根槽棒实现硅片的水平放置，通过定位槽棒实现硅片在石英舟中的定位，并且保持竖直时的间距一致，实现自动装片，通过本实用新型所述的石英舟装置，可使用原卧式石英舟倒片器的通用，有效解决了原卧式石英舟加工存在的不足。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业POLY-Si背封工艺硅片7载体石英舟，主要涉及一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置。

背景技术

石英舟是硅片背封工艺中的载体，石英舟的结构直接影响硅片的摆放，影响硅片与石英舟的接触面积，接触点的应力，最终直接影响硅片背封后的接触点崩边率。

常规的卧式背封炉采用卧式石英舟设计，硅片竖直放置，与石英舟存在多处应力集中点，与石英舟接触面积大，POLY-Si沉积后造成硅片与石英舟粘接严重，造成较高比例的边缘崩边。合理的石英舟设计，能够有效的改变石英舟与硅片的接触位置和接触面积。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，以解决该种设计的缺陷，并可以做到操作简单、安全高效。

本实用新型通过以下技术方案来实现：一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的顶端通过焊接方式连接上挡板，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的底端通过焊接方式均连接下支撑挡板。

进一步优化，所述上挡板为四边形板，上挡板和下支撑挡板的形状、大小均相同。

进一步优化，所述硅片支撑槽棒数量为四个，其中两个设置在上挡板的一个拐角处，另外两个设置在与上述拐角对应的另一个拐角处，硅片支撑槽棒沿长度方向设置有多个凹槽。

进一步优化，所述硅片定位槽棒设在上挡板的另外一拐角，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒形成一个三角形状，硅片定位槽棒的一侧设有多个与凹槽相对应的V型槽，凹槽的开口与所述V型槽的开口相对应，以实现硅片水平放置和定位在石英舟内。

进一步优化，所述硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒长度相同且平行设置。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过下支撑挡板实现石英舟在桨上稳定放置，通过四根槽棒实现硅片的水平放置，通过定位槽棒实现硅片在石英舟中的定位，并且保持竖直时的间距一致，实现自动装片，通过本实用新型所述的石英舟装置，可使用原卧式石英舟倒片器的通用，有效解决了原卧式石英舟加工存在的不足。

附图说明

图1为石英舟立式放置时的结构示意图；

图2为石英舟水平放置时的结构示意图；

图3为石英舟的俯视结构示意图；

图4为硅片支撑槽棒的结构示意图；

图5为硅片定位槽棒的结构示意图；

附图标记：1、上挡板，2、硅片支撑槽棒，3、硅片定位槽棒，4、下支撑挡板，5、凹槽，6、V型槽，7、硅片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。