[实用新型]一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置有效
| 申请号： | 202020948851.X | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN211858609U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 寇文辉;苗利刚;胡晓亮 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 王海龙 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 poly si 卧式 背封炉用 立式 石英 装置 | ||
1.一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，包括上挡板（1）、硅片支撑槽棒（2）、硅片定位槽棒（3）和下支撑挡板（4），所述上挡板（1）和所述下支撑挡板（4）上下对应设置，上挡板（1）和下支撑挡板（4）之间设有所述硅片支撑槽棒（2）和所述硅片定位槽棒（3），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的顶端均通过焊接方式连接上挡板（1），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板（4）。
2.根据权利要求1所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，所述上挡板（1）为四边形板，上挡板（1）和下支撑挡板（4）的形状、大小均相同。
3.根据权利要求1所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，所述硅片支撑槽棒（2）数量为四个，其中两个设置在上挡板（1）的一个拐角处，另外两个设置在与上述拐角对应的另一个拐角处，硅片支撑槽棒（2）沿长度方向设置有多个凹槽（5）。
4.根据权利要求3所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，所述硅片定位槽棒（3）设在上挡板（1）的另外一拐角，硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）形成一个三角形，硅片定位槽棒（3）的一侧设有多个与凹槽（5）相对应的V型槽（6），凹槽（5）的开口与所述V型槽（6）的开口相对应，以实现硅片水平放置和定位在石英舟内。
5.根据权利要求1所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，所述硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）长度相同且平行设置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
