[实用新型]一种碳化硅舟

权利要求书

1.一种碳化硅舟，用于承载硅片，包括舟体，所述的舟体包括平行设置的第一侧板(1)和第二侧板(2)，其特征在于，还包括横梁组件，所述的横梁组件连接设置在第一侧板(1)和第二侧板(2)之间，并与第一侧板(1)和第二侧板(2)垂直；

所述的横梁组件包括互相平行设置的第一横梁(3)、第二横梁(4)和第三横梁(5)，第一横梁(3)和第二横梁(4)上均设置卡槽件(8)，所述的卡槽件(8)包括第一卡槽(81)和第二卡槽(82)，用于承载硅片；

所述的第一横梁(3)位于第二横梁(4)的上方，第一横梁(3)和第二横梁(4)的剖面均为“L”形；

所述的第一横梁(3)包括水平设置的第一板材(31)和垂直地面设置第二板材(32)，所述的第一板材(31)的前端与所述第二板材(32)的上端垂直连接，所述的第一板材(31)的后端设置多个第一卡槽(81)；

所述的第二横梁(4)包括垂直地面设置第三板材(41)和水平设置的第四板材(42)，所述的第三板材(41)的下端与所述第四板材(42)的后端垂直连接，所述的第三板材(41)的上端设置多个第二卡槽(82)；

所述的第一横梁(3)在水平面上设置2个，互为镜像对称设置在第一侧板(1)和第二侧板(2)之间；所述的第二横梁(4)的数量为2个，互为镜像对称设置在第一侧板(1)和第二侧板(2)之间；

所述第一卡槽(81)与第二卡槽(82)共同用于承载硅片，硅片的侧壁插在第一卡槽(81)内，硅片的底部插在第二卡槽(82)内；

所述的第三横梁(5)包括水平设置的第五板材(51)和垂直地面设置第六板材(52)，所述的第五板材(51)的前端与所述第六板材(52)的上端垂直连接，所述的第五板材(51)与所述第四板材(42)在同一水平面内，用于支撑限位硅片，所述的第三横梁(5)数量为2个与第一横梁(3)的设置方式相同。

2.根据权利要求1所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的2个第一横梁(3)的之间的距离为55～65mm。

3.根据权利要求1所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的2个第二横梁(4)的之间的距离为35～45mm。

4.根据权利要求1所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的第一横梁(3)高于第二横梁(4)55～65mm。

5.根据权利要求1所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的第一卡槽(81)与第二卡槽(82)一一对应，共同承载同一个硅片；

所述的第一卡槽(81)的顶部延长线为直角形或圆弧形，所述的第二卡槽(82)与第一卡槽(81)的形状相同。

6.根据权利要求3所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的第一侧板(1)和第二侧板(2)靠下方设有2个舟脚(6)。

7.根据权利要求1所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的第一侧板(1)和第二侧板(2)靠近第一横梁(3)的外侧设有2个凸起(7)，用于将碳化硅舟抬起放置在工装上。

8.根据权利要求7所述的碳化硅舟，其特征在于，所述的第一侧板(1)和第二侧板(2)上设置凹孔(71)，用于固定所述的凸起(7)。