[实用新型]一种晶圆片转运花篮有效
| 申请号： | 202020901328.1 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212010919U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 黄栋材 | 申请（专利权）人： | 无锡畅景科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 转运 花篮 | ||
1.一种晶圆片转运花篮，包括晶圆片上料设备，其特征在于，还包括两个把手(1)、承载架(2)、两个滑动机构(3)和挡板(4)，两个所述把手(1)分别设置在承载架(2)一侧的上下两端，所述承载架(2)设置在晶圆片上料设备内，所述滑动机构(3)的一端连接承载架(2)，所述滑动机构(3)的另一端连接挡板(4)，所述挡板(4)的一侧两端分别设有第二矩形槽(401)，所述第二矩形槽(401)连接纵向柱(302)另一端的横向柱(301)。
2.根据权利要求1所述一种晶圆片转运花篮，其特征在于，所述承载架(2)呈长方体状，所述承载架(2)内部呈圆形中空状态，所述承载架(2)内部设有可供晶圆片放置的若干弧形块(201)，若干所述弧形块(201)沿承载架(2)内部顶端朝内部底端等间距设置，若干所述弧形块(201)的顶部呈弧形，所述承载架(2)的顶部两侧和承载架(2)另一侧的两侧都设有第一矩形槽(202)。
3.根据权利要求2所述一种晶圆片转运花篮，其特征在于，两个所述滑动机构(3)均设有两个横向柱(301)和一个纵向柱(302)，两个所述滑动机构(3)分别设置在第一矩形槽(202)的顶部和底部，两个所述横向柱(301)分别设置在纵向柱(302)的两端，纵向柱(302)一侧的横向柱(301)设置在第一矩形槽(202)内，纵向柱(302)另一侧的横向柱(301)设置在挡板(4)内。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
