[实用新型]一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置有效
| 申请号: | 202020894931.1 | 申请日: | 2020-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN212848457U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
| 发明(设计)人: | 涂晔;刘雅莉;张忠辉;张亚秋;杨贵钦 | 申请(专利权)人: | 玉溪师范学院 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 653108 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 制备 薄膜 太阳能电池 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置,包括制备箱体,所述制备箱体的外部对称设置有升降机构,两侧所述升降机构之间设置有调节机构,制备箱体用于对玻璃基板进行加热并进行导电薄膜和掺硼氧化锌膜的低压气相沉积,通过升降机构调节玻璃基板的第二活动块的竖直和水平位置,从而方便安装和取下玻璃基板,通过调节机构可进一步调节固定架的竖直和水平位置,从而实现玻璃基板在加热室、导电薄膜制备室和反散热层制备室之间的位置移动,方便玻璃基板的安装拆卸,集玻璃基板的加热、气相沉积镀膜于一体,方便操作,实用性强。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,具体领域为一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置。
背景技术
太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。只要被光照到,瞬间就可输出电压及电流。在物理学上称为太阳能光伏,简称光伏。以光电效应工作的薄膜式太阳能电池为主流,而以光化学效应工作的湿式太阳能电池则还处于萌芽阶段。
硅基薄膜太阳电池是对所有以硅为主要材料的薄膜类太阳电池的总称,硅基薄膜太阳电池制备过程中需要采用气相沉积法将导电薄膜和反散热层与玻璃基板相结合,为此,我们提出一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置,包括制备箱体,所述制备箱体的外部对称设置有升降机构,两侧所述升降机构之间设置有调节机构;
所述制备箱体内通过十字形隔板分割成导电薄膜制备室和反散热层制备室,所述导电薄膜制备室和所述反散热层制备室的上部均为加热室,所述加热室内设置有加热组件;
所述升降机构包括移动座组件,所述移动座组件与所述制备箱体相连,所述移动座组件上设置有支撑杆,两侧所述支撑杆之间设置有水平板,所述移动座组件上设置有第一驱动电机,所述第一驱动电机的输出端与第一螺纹杆的一端相连,所述第一螺纹杆的另一端与所述水平板相连,所述第一螺纹杆上设置有第一活动块;
所述调节机构包括水平调节组件,所述水平调节组件位于两侧所述第一活动块之间,所述水平调节组件上设置有第二活动块,所述第二活动块上设置有电动伸缩杆的固定端,所述电动伸缩杆的伸缩端与密封安装板相连,所述密封安装板上均匀设置有固定夹,所述制备箱体和所述十字形隔板上均设置有开口槽,所述密封安装板与所述开口槽相适配。
优选的,所述导电薄膜制备室的内下部为氧化锌低压气相沉积室,所述反散热层制备室的内下部为掺硼氧化锌气相沉积室。
优选的,所述移动座组件包括底座和活动座,所述底座与所述制备箱体的侧壁底端相连,所述底座上设置有滑轨,所述活动座上设置有滑轮,所述滑轮与所述滑轨相适配,所述底座的上表面后端设置有固定座,所述固定座上设置有电动推杆的固定端,所述电动推杆的的活动端与所述活动座相连。
优选的,所述水平调节组件包括第二驱动电机和第二螺纹杆,所述第二驱动电机通过电机安装座与一侧所述第一活动块相连,所述第二螺纹杆的一端与另一侧所述第一活动块相连,所述第二驱动电机的输出端与所述第二螺纹杆相连。
优选的,所述加热组件包括对称设置的安装座,所述安装座位于所述加热室内,所述安装座上设置有电加热器,所述加热室内且位于所述电加热器两侧设置有风机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





