[实用新型]一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置

权利要求书

1.一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，包括制备箱体(1)，其特征在于：所述制备箱体(1)的外部对称设置有升降机构，两侧所述升降机构之间设置有调节机构；

所述制备箱体(1)内通过十字形隔板(2)分割成导电薄膜制备室(3)和反散热层制备室(4)，所述导电薄膜制备室(3)和所述反散热层制备室(4)的上部均为加热室(5)，所述加热室(5)内设置有加热组件；

所述升降机构包括移动座组件，所述移动座组件与所述制备箱体(1)相连，所述移动座组件上设置有支撑杆(6)，两侧所述支撑杆(6)之间设置有水平板(7)，所述移动座组件上设置有第一驱动电机(8)，所述第一驱动电机(8)的输出端与第一螺纹杆(9)的一端相连，所述第一螺纹杆(9)的另一端与所述水平板(7)相连，所述第一螺纹杆(9)上设置有第一活动块(10)；

所述调节机构包括水平调节组件，所述水平调节组件位于两侧所述第一活动块(10)之间，所述水平调节组件上设置有第二活动块(11)，所述第二活动块(11)上设置有电动伸缩杆(12)的固定端，所述电动伸缩杆(12)的伸缩端与密封安装板(13)相连，所述密封安装板(13)上均匀设置有固定夹(14)，所述制备箱体(1)和所述十字形隔板(2)上均设置有开口槽(15)，所述密封安装板(13)与所述开口槽(15)相适配。

2.根据权利要求1所述的一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，其特征在于：所述导电薄膜制备室(3)的内下部为氧化锌低压气相沉积室，所述反散热层制备室(4)的内下部为掺硼氧化锌气相沉积室。

3.根据权利要求1所述的一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，其特征在于：所述移动座组件包括底座(16)和活动座(17)，所述底座(16)与所述制备箱体(1)的侧壁底端相连，所述底座(16)上设置有滑轨，所述活动座(17)上设置有滑轮，所述滑轮与所述滑轨相适配，所述底座(16) 的上表面后端设置有固定座(18)，所述固定座(18)上设置有电动推杆(19)的固定端，所述电动推杆(19)的活动端与所述活动座(17)相连。

4.根据权利要求1所述的一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，其特征在于：所述水平调节组件包括第二驱动电机(20)和第二螺纹杆(21)，所述第二驱动电机(20)通过电机安装座与一侧所述第一活动块(10)相连，所述第二螺纹杆(21)的一端与另一侧所述第一活动块(10)相连，所述第二驱动电机(20)的输出端与所述第二螺纹杆(21)相连。

5.根据权利要求1所述的一种用于制备硅基薄膜太阳能电池的装置，其特征在于：所述加热组件包括对称设置的安装座，所述安装座位于所述加热室(5)内，所述安装座上设置有电加热器(22)，所述加热室(5)内且位于所述电加热器(22)两侧设置有风机(23)。