[实用新型]一种集成电路硅片电镀用清洗槽

权利要求书

1.一种集成电路硅片电镀用清洗槽，包括主箱体(1)、控制按钮(2)、清洗液箱(8)、滤网(14)和步进电机(16)，所述控制按钮(2)的输出端通过导线分别与清洗液箱(8)和步进电机(16)的输入端电连接，其特征在于：所述主箱体(1)的正面设置有控制按钮(2)，所述主箱体(1)左侧的底部安装有步进电机(16)，且步进电机(16)的输出端安装有主旋转轴(18)，所述主旋转轴(18)的表面套设有第一锥形齿轮(17)，所述主箱体(1)右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱(15)和清洗液箱(8)，所述废液箱(15)的表面通过滤网(14)与主箱体(1)内部相连通，所述清洗液箱(8)的一侧设置有进液口(11)，且进液口(11)上方的主箱体(1)表面开设有插槽(9)，所述清洗液箱(8)的内部安装有水泵(12)，且水泵(12)的输出端安装有导液管(4)，所述废液箱(15)和清洗液箱(8)上方的主箱体(1)内部通过轴承横向安装有丝杆(22)，且丝杆(22)的一端安装有承接轴(20)，所述丝杆(22)的另一端套设有丝母(13)，且丝母(13)的表面设置有喷头(10)，所述丝杆(22)上方的主箱体(1)内部通过轴承安装有安装架(3)，且安装架(3)的一端贯穿插槽(9)延伸至主箱体(1)表面，所述安装架(3)内部的中间位置处设置有内置框架(7)，且内置框架(7)的内部安装有夹具组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽，其特征在于：所述导液管(4)远离水泵(12)的一端贯穿插槽(9)和丝母(13)表面，且导液管(4)与喷头(10)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽，其特征在于：所述夹具组件(6)包括有夹片(61)、弹簧杆(62)和承接杆(63)，所述内置框架(7)内部的两侧皆横向安装有承接杆(63)，且承接杆(63)的中间位置处插设有弹簧杆(62)，所述弹簧杆(62)的一侧皆设置有夹片(61)。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽，其特征在于：所述进液口(11)上方的插槽(9)表面通过轴承铰接有管道放置架(5)，且管道放置架(5)的表面均匀缠绕有导液管(4)。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽，其特征在于：所述第一锥形齿轮(17)和第二锥形齿轮(19)皆设置有两组，所述第一锥形齿轮(17)的表面皆设置有齿牙，所述第二锥形齿轮(19)表面设置有与第一锥形齿轮(17)相配适的齿牙，所述第一锥形齿轮(17)和第二锥形齿轮(19)之间通过齿牙相互啮合。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽，其特征在于：所述承接轴(20)设置有两组，两组所述承接轴(20)的一端分别与第二锥形齿轮(19)连接，其中一组所述承接轴(20)的一端开设有固定孔(21)，且固定孔(21)的内部内嵌有安装架(3)。