[实用新型]一种等离子废气处理系统

权利要求书

1.一种等离子废气处理系统，其特征在于包括反应腔（3）, 反应腔（3）内配合设置等离子体发生器（1），等离子体发生器（1）上设置工艺进气口（101），反应腔（3）底部出口与初级水洗系统（4）配合连接，初级水洗系统（4）出口分别与次级水洗冷却系统（5）、过滤系统（6）配合连接；还包括水幕系统（2），水幕系统（2）的水幕法兰（201）固定安装在反应腔（3）顶部，水幕法兰（201）下方形成的水幕墙（202）位于反应腔（3）内；水幕系统（2）、等离子体发生器（1）、初级水洗系统（4）、次级水洗冷却系统（5）、过滤系统（6）与电气控制器（7）电控配合。

2.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于所述的过滤系统（6）包括依次配合连接的初级过滤系统（601）、后段水洗过滤系统（602）、水气颗粒吸附过滤系统（603），各个接口采用简易快拆抱箍配合连接。

3.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于初级水洗系统（4）包括初级水洗腔体（401），初级水洗腔体（401）内设置左端设置横向高流量喷嘴（402）、顶部设置纵向高流量喷嘴（403），横向高流量喷嘴（402）、顶部设置纵向高流量喷嘴（403）喷射螺旋雾状喷流。

4.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于等离子体发生器（1）设置四个或六个独立的工艺进气口（101），等离子体发生器（1）的离子体炬长度为150-300mm。

5.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于水幕墙（202）的长度为500-700mm，水幕法兰（201）内外表面喷涂特氟龙涂层。

6.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于后段水洗过滤系统（602）包括后段水洗过滤腔体（602c），后段水洗过滤腔体（602c）内设置一组高流量水洗喷嘴（602b）和大量非金属拉西环（602d），后段水洗过滤腔体（602c）内设置温度传感器一（602e）、负压监测传感器（602f），后段水洗过滤腔体（602c）连接设置CDA进气口（602a）。

7.如权利要求1所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于次级水洗冷却系统（5）包括次级水洗冷却腔体（501），次级水洗冷却腔体（501）内设置循环换热器（502）、温度传感器二（503），次级水洗冷却腔体（501）外部设置液体泄漏监控装置（504），次级水洗冷却腔体（501）内部整体喷涂特氟龙涂层。