[实用新型]一种抛光垫、抛光装置

权利要求书

1.一种抛光垫，其特征在于：所述抛光垫包括从上至下依次设置的亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述亲水聚酰胺层表面设置有若干个凹槽，每个所述凹槽的深度小于所述亲水聚酰胺层的高度，每个所述凹槽内设置有填充部，所述填充部的高度小于所述凹槽的深度，所述填充部包括从上至下依次设置的第一填充层、第二填充层……第N填充层，相邻的两个所述填充层之间设置有分隔层，所述分隔层和所述填充层不连接。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述N为2-5。

3.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述凹槽的纵截面为矩形、梯形、半圆形或三角形。

4.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述凹槽设置为1个，所述凹槽的横截面为网格形状。

5.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述填充层的厚度和所述分隔层的厚度比值为1-5。

6.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述亲水聚酰胺层的厚度为0.1mm-10mm。

7.根据权利要求1所述的一种抛光垫，其特征在于：所述抛光垫为圆柱体形，所述抛光垫的直径为200mm-500mm。

8.一种抛光装置，其特征在于：包括权利要求1-7中任一项所述的一种抛光垫。