[实用新型]一种超细线路制备装置

权利要求书

1.一种超细线路制备装置，其特征在于：包括纳米铜气溶胶制备装置和纳米铜收集装置，所述纳米铜气溶胶制备装置通过管道与所述纳米铜收集装置连接，所述纳米铜收集装置包括外壳，所述外壳内部设有用于放置基板并接收所述纳米铜气溶胶制备装置制备出的纳米铜气溶胶的XY移动平台，以及用于对XY移动平台上放置的基板进行光烧结的光学系统，所述外壳上设有抽真空装置和出气口，所述出气口上设有第一单向排气阀。

2.根据权利要求1所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述管道上设有单向阀，所述管道上还设有临界孔，所述临界孔与所述纳米铜气溶胶制备装置之间的管道上还设有第二单向排气阀。

3.根据权利要求1所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述光学系统包括光发生器、光隔离器、光控制器、光阑和反光镜，所述光发生器位于所外壳的内壁，所述光隔离器、光控制器和光澜依次叠放在所述光发生器上，所述反光镜的位置满足所述光发生器发出的光线经反光镜反射后被所述XY移动平台接收到。

4.根据权利要求3所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述光发生器为热辐射光源、气体放电光源、电致发光光源、紫外光源、红外光源、非照明用的可见光源和激光光源中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述光发生器产生的光波长为0.1μm-300μm中的任一种，所述光发生器产生的光直径为线路线宽的1.1倍。

6.根据权利要求4所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述光发生器的功率为1W-10000W。

7.根据权利要求1所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述纳米铜气溶胶制备装置为化学气相沉积装置、电火花放电装置或电弧放电装置。

8.根据权利要求1所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述XY移动平台采用的是电动整体位移台。

9.根据权利要求8所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述电动整体位移的移动速度为0.1mm/s-500mm/s。

10.根据权利要求1所述的一种超细线路制备装置，其特征在于：所述抽真空装置为水力喷射器、蒸汽式喷射泵、往复泵和离心式真空泵中的一种。