[实用新型]倾斜平台及基板传输装置

说明书

本实用新型揭露一种借由倾斜角度以使所传输的基板或基板的表面的湿式制程药液散逸的倾斜平台及以之制备的基板传输装置，本实用新型提供一种基板传输装置，该基板传输装置至少包括有一基座及一倾斜平台，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角；借此，本新型借由在基板传输装置的基座上设置倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输时不会因为药液的残留而对其表面造成危害，确实达到保护传输的基板的品质等优势。

技术领域

本实用新型有关于一种倾斜平台及基板传输装置，尤其是指一种借由具倾斜角度的平台以使所传输的基板表面的湿式制程的药液能够散逸的倾斜平台及以此倾斜平台制备的基板传输装置。

背景技术

常见的基板传输装置，通常是由输送线将基板传送至由复数个输送滚轮所组合而成的输送结构上，再借由设置于输送结构附近的机械手臂将基板移动至指定位置，或是由机械手臂截取基板后，将基板提送至另一组传输结构上，而机械手臂虽然能将基板横向或上下移动，但介于机械手臂的需要一步一步的进行动作，并且对于移动基板时的大小也有所限制，因而局限基板传输时的大小，并且在机械手臂移动时需花费过多不必要的时间，进而连带影响了基板传输时的效率；此外，在湿式制程过后仍有许多的蚀刻药液残留在基板表面，严重者将使基板表面发生过度蚀刻的问题产生；因此，如何借由创新的设计，解决药液残留在基板表面而造成危害的缺点，仍是基板传输装置等相关产业的开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。

实用新型内容

缘是，创作人有鉴于此，并借由其丰富的专业知识及多年的实务经验所辅佐，而加以改良创作一种倾斜平台及以的制备的基板传输装置，其目的在于提供一种借由具倾斜角度的平台以使所传输的基板表面的湿式制程的药液能够散逸的倾斜平台及以此倾斜平台制备的基板传输装置，主要借由在基板传输装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液的残留而对其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传递的基板的产品品质等主要优势。

本实用新型的次一目的在于提供一种倾斜平台，借由倾斜平台上的输送辊及导辊的设计，能够使基板在倾斜时不致于造成滑落破损，使其能有效承载基板并进行传输的作业的优势。

本实用新型的又一目的在于另提供一种基板传输装置，其透过第一升降机构、横移机构及转轴的设计，借此能够稳定的进行上下层的基板传输动作，有效使第一及第二牙叉组件由倾斜自转水平并微调至相对位置后同步上升，据此可提升大面积的基板传输动作等优势。

本实用新型的再一目的在于提供一种基板传输装置，其透过可动滚轮、固定滚轮、平行轨道及垂直轨道的配置设计，借由位于轨道内可移动的可动滚轮，使在移送基板时可以减少大量的位移时间，同时另可以减少运输装置循环移动的时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

为了达到本新型的前揭目的，实用新型人提出一种倾斜平台，适用于一基板传输装置，其中基板传输装置至少包括有一基座，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角。

在本实用新型的一个实施例中，夹角介于3度至10度之间。

在本实用新型的一个实施例中，基座由二长边及二短边所构成。

在本实用新型的一个实施例中，倾斜平台更包含复数个输送辊，各该输送辊沿着该基座的该二长边以不同高度形成该夹角的配置并且平行设置。

在本实用新型的一个实施例中，其中各该输送辊设有复数个导辊。

在本实用新型的一个实施例中，倾斜平台借由一转速以传输至少一基板。