[实用新型]倾斜平台及基板传输装置

权利要求书

1.一种倾斜平台，适用于一基板传输装置(20)，其中该基板传输装置(20)至少包括有一基座(21)，其特征在于：该倾斜平台(10)设置于该基座(21)上，且该倾斜平台(10)与该基座(21)之间夹设有一夹角θ。

2.如权利要求1所述的倾斜平台，其特征在于，该夹角θ介于3度至10度之间。

3.如权利要求2所述的倾斜平台，其特征在于，该基座(21)由二长边(11)及二短边(12)所构成。

4.如权利要求3所述的倾斜平台，其特征在于，包含复数个输送辊(13)，各该输送辊(13)沿着该基座(21)的该二长边(11)以不同高度形成该夹角θ的配置并且平行设置。

5.如权利要求4所述的倾斜平台，其特征在于，各该输送辊(13)设有复数个导辊(131)。

6.一种基板传输装置，其特征在于，至少包括有：

一如权利要求1至5中任一所述的倾斜平台(10)；

至少一第一升降机构(22)，设置于该基座(21)上且位于该倾斜平台(10)的一侧部，该第一升降机构(22)至少包括有二第一升降轨道(221)，以及一设置于该第一升降轨道(221)的一端部的第一升降驱动器(222)；以及

至少一横移机构(23)，该横移机构(23)设置于该第一升降机构(22)的该第一升降轨道(221)内并与其呈90度配置，且该横移机构(23)包括有至少一横移轨道(231)，以及一设置于该横移轨道(231)的一端部的横移驱动器(232)；

至少一第二升降机构(24)，该第二升降机构(24)设置于该横移机构(23)的该横移轨道(231)内并与其呈90度配置，且该第二升降机构(24)与该第一升降机构(22)平行设置，其中，该第二升降机构(24)包括有至少一第二升降轨道(241)，以及一设置于该第二升降轨道(241)的一端部的第二升降驱动器(242)；

一第一牙叉组件(25)，设置于该第二升降机构(24)，该第一牙叉组件(25)包括有一嵌入于该第二升降机构(24)的该第二升降轨道(241)的第一转轴(251)；

一第二牙叉组件(26)，设置于该横移机构(23)，该第二牙叉组件(26)包括有一嵌入于该横移轨道(231)的第二转轴(261)。

7.如权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，该第一升降轨道(221)、该横移轨道(231)及该第二升降轨道(241)内各自设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件。

8.如权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，该第一牙叉组件(25)包括一设置于该第一转轴(251)一端的第一牙叉架(252)，以及复数根与该第一牙叉架(252)垂直设置的第一牙叉(2521)，且复数个该第一牙叉(2521)彼此并列排制而成。

9.如权利要求6或8所述的基板传输装置，其特征在于，该第二牙叉组件(26)包括一设置于该第二转轴(261)一端的第二牙叉架(262)，以及复数根与该第二牙叉架(262)垂直设置的第二牙叉(2621)，且复数个该第二牙叉(2621)彼此并列排制而成。

10.如权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，该倾斜平台(10)借由一转速以传输至少一基板(3)。

11.如权利要求10所述的基板传输装置，其特征在于，由一上层输送机构(4)接收该第一牙叉组件(25)及该第二牙叉组件(26)顶抵的该基板(3)。

12.如权利要求10所述的基板传输装置，其特征在于，该横移机构(23)的两侧设有二导轨(27)，各该导轨(27)内设有一导轨轨道(271)，该导轨轨道(271)能够使该横移机构(23)嵌入并进行上下滑移。