[实用新型]晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板

权利要求书

1.一种晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，包括：

盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；

辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。

2.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括一个辅助操作屏，所述辅助操作屏可工作地连接于至少一所述处理单元，通过所述辅助操作屏能够操控至少一所述处理单元。

3.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括至少一个调速开关，所述调速开关适于可工作地连接于晶圆加工设备的主控制单元，用于调节晶圆加工设备的运行速度。

4.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括一组应急处理件，所述一组应急处理件适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的至少一个处理单元，通过所述应急处理件能够紧急制动对应的至少一所述处理单元。

5.根据权利要求4所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述应急处理件中的一个是第一应急开关，所述第一应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的旋转处理单元，通过所述第一应急开关能够紧急制动所述旋转处理单元。

6.根据权利要求4所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述应急处理件中的一个是第二应急开关，所述第二应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的装载处理单元，通过所述第二应急开关能够紧急制动所述装载处理单元。

7.根据权利要求4所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述应急处理件中的一个是第三应急开关，所述第三应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的主处理单元，通过所述第三应急开关能够紧急制动所述主处理单元。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述窗口部包括第一窗口部和第二窗口部，所述第一窗口部和所述第二窗口部分别位于所述辅助操控部的上下两侧。

9.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括：

权利要求1-8中任一项所述的晶圆加工设备的前盖板；

晶圆加工设备主体；

主控制单元，所述晶圆加工设备的前盖板和所述主控制单元分别安装于所述晶圆加工设备主体，并且所述主控制单元可工作地连接于所述晶圆加工设备的前盖板的所述辅助控制件。

10.根据权利要求9所述的晶圆加工设备，其特征在于，其中所述晶圆加工设备包括工艺加工区域和晶圆取放区域，所述前盖板安装于所述工艺加工区域，所述主控制单元安装于所述晶圆取放区域。