[实用新型]一种半导体基板

权利要求书

1.一种半导体基板，其结构包括水冷箱(1)、半导体基板(2)、水冷管(3)、电源接口(4)、空气吸盘(5)，其特征在于：

所述水冷箱(1)固定连接于半导体基板(2)上，所述水冷管(3)固定连接于半导体基板(2),所述水冷管(3)两端接口与水冷箱(1)固定连接，所述电源接口(4)电线连接于水冷箱(1)后方，所述空气吸盘(5)固定连接于半导体基板(2)侧方；

所述水冷箱(1)内部主要设有水冷泵(11)、水冷出口(12)、水冷入口(13)，水管夹紧器(14)，所述水冷泵(11)固定连接于水冷箱(1)并电线连接于电源接口(4)，所述水冷出口(12)和水冷入口(13)分别固定连接于水冷泵(11)，所述水管夹紧器(14)固定连接于水冷出口(12)和水冷入口(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板，其特征在于：所述水管夹紧器(14)主要设有母齿轮(A)、子齿轮(B)、齿轮棒(C)、夹紧杆(D)、齿轮杆(E)、弹簧(F)，所述母齿轮(A)固定连接于齿轮棒(C)，所述子齿轮(B)与母齿轮(A)活动配合，所述夹紧杆(D)活动配合齿轮棒(C)，所述齿轮杆(E)固定连接于水冷出口(12)和水冷入口(13)，弹簧(F)固定连接于齿轮杆(E)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体基板，其特征在于：所述子齿轮(B)与母齿轮(A)固定连接于水冷箱(1)，所述夹紧杆(D)活动配合于水冷箱(1)。