[实用新型]一种抛光机所用的新型抛光头及其治具

说明书

本实用新型提供了一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，抛光头包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。治具包括治具本体，所述治具本体用于安装压力分配环的治具。本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸；通过治具实现了压力分配环的快速安装。

技术领域

本实用新型属于抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光机所用的新型抛光头及其治具。

背景技术

现有技术及其不足：抛光机所用的抛光头上安装有压力分配环，根据所抛光硅片类型的不同和工艺的不同，需要用不同硬度、不同类型的压力分配环。现有的抛光头，安装和拆卸压力分配环非常不便：安装时，用纯手工的方式将压力分配环按入安装槽内，效率非常低；拆卸时，用螺丝刀从压力分配环与安装槽之间的缝隙插入，将压力分配环从安装槽里剜出，这种拆卸方式极易损坏压力分配环，使之无法再使用，造成极大的浪费。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，以解决现有抛光头安装和拆卸压力分配环困难的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种抛光机所用的新型抛光头，包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。

进一步的，所述抛光头本体底部设有第一环形凹槽，所述压力分配环安装在第一环形凹槽内，所述抛光头本体侧壁上设有通孔，所述通孔与第一环形凹槽相通，所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环贴合。

进一步的，所述第一环形凹槽的截面为矩形，所述压力分配环的截面为圆形，所述第一环形凹槽的宽度小于压力分配环的直径。

进一步的，所述通孔倾斜设置，所述通孔内设有螺纹，所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆，所述四氟螺纹顶杆与通孔相对应，所述四氟螺纹顶杆与通孔螺纹连接，所述四氟螺纹顶杆一端顶在压力分配环上。

进一步的，所述四氟螺纹顶杆顶在压力分配环一端为半球形。

进一步的，所述四氟螺纹顶杆远离压力分配环的一端设有带滚花的凸台。

一种抛光机所用的新型抛光头治具，包括治具本体，所述治具本体用于安装以上任一所述的抛光头，所述治具本体上设有与的压力分配环相对应的第二环形凹槽。

进一步的，所述治具本体为圆形托盘，底部向上延伸出侧壁，所述第二环形凹槽设置在治具本体的底部，所述压力分配环底部安装在第二环形凹槽内。

进一步的，所述第二环形凹槽直径与压力分配环的直径相对应，所述第二环形凹槽截面的深度为压力分配环截面直径的四分之一。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种抛光机所用的新型抛光头及其治具具有以下优势：

(1)本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸。

(2)本实用新型所述的治具本体底部设有与压力分配环对应的第二凹槽，压力分配环的四分之一位于第二凹槽内，通过治具本体将压力分配环的四分之三安装到抛光头本体的第一凹槽内。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的一种抛光机所用的新型抛光头及其治具结构图；