[实用新型]一种抛光机所用的新型抛光头及其治具有效

专利信息
申请号: 202020807518.7 申请日: 2020-05-14
公开(公告)号: CN212683566U 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 张晋英;安爱博;张碧波;严政先;赵欣;郭旭;霍立强;孙晨光;王彦君 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
主分类号: B24B41/04 分类号: B24B41/04;B24B29/00;B25B11/02
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 薛萌萌
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 抛光机 所用 新型 抛光 及其
【权利要求书】:

1.一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:包括抛光头本体(1),所述抛光头本体(1)底部装有压力分配环(3),所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环(3)的拆卸件。

2.根据权利要求1所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述抛光头本体(1)底部设有第一环形凹槽(6),所述压力分配环(3)安装在第一环形凹槽(6)内,所述抛光头本体(1)侧壁上设有通孔,所述通孔与第一环形凹槽(6)相通,所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环(3)贴合。

3.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述第一环形凹槽(6)的截面为矩形,所述压力分配环(3)的截面为圆形,所述第一环形凹槽(6)的宽度小于压力分配环(3)的直径。

4.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:通孔倾斜设置,所述通孔内设有螺纹,所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆(2),所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔相对应,所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔螺纹连接,所述四氟螺纹顶杆(2)一端顶在压力分配环(3)上。

5.根据权利要求4所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述四氟螺纹顶杆(2)顶在压力分配环(3)一端为半球形。

6.根据权利要求5所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述四氟螺纹顶杆(2)远离压力分配环(3)的一端设有带滚花的凸台。

7.一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:包括治具本体(4),所述治具本体(4)用于安装权利要求1至权利要求5任一所述的抛光头,所述治具本体上设有与的压力分配环(3)相对应的第二环形凹槽(5)。

8.根据权利要求7所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:所述治具本体(4)为圆形托盘,底部向上延伸出侧壁,所述第二环形凹槽(5)设置在治具本体(4)的底部,所述压力分配环(3)底部安装在第二环形凹槽(5)内。

9.根据权利要求8所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:所述第二环形凹槽(5)直径与压力分配环(3)的直径相对应,所述第二环形凹槽(5)截面的深度为压力分配环(3)截面直径的四分之一。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司,未经中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020807518.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top