[实用新型]一种抛光机所用的新型抛光头及其治具有效
| 申请号: | 202020807518.7 | 申请日: | 2020-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN212683566U | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
| 发明(设计)人: | 张晋英;安爱博;张碧波;严政先;赵欣;郭旭;霍立强;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号: | B24B41/04 | 分类号: | B24B41/04;B24B29/00;B25B11/02 |
| 代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
| 地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 抛光机 所用 新型 抛光 及其 | ||
1.一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:包括抛光头本体(1),所述抛光头本体(1)底部装有压力分配环(3),所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环(3)的拆卸件。
2.根据权利要求1所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述抛光头本体(1)底部设有第一环形凹槽(6),所述压力分配环(3)安装在第一环形凹槽(6)内,所述抛光头本体(1)侧壁上设有通孔,所述通孔与第一环形凹槽(6)相通,所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环(3)贴合。
3.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述第一环形凹槽(6)的截面为矩形,所述压力分配环(3)的截面为圆形,所述第一环形凹槽(6)的宽度小于压力分配环(3)的直径。
4.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:通孔倾斜设置,所述通孔内设有螺纹,所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆(2),所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔相对应,所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔螺纹连接,所述四氟螺纹顶杆(2)一端顶在压力分配环(3)上。
5.根据权利要求4所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述四氟螺纹顶杆(2)顶在压力分配环(3)一端为半球形。
6.根据权利要求5所述的一种抛光机所用的新型抛光头,其特征在于:所述四氟螺纹顶杆(2)远离压力分配环(3)的一端设有带滚花的凸台。
7.一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:包括治具本体(4),所述治具本体(4)用于安装权利要求1至权利要求5任一所述的抛光头,所述治具本体上设有与的压力分配环(3)相对应的第二环形凹槽(5)。
8.根据权利要求7所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:所述治具本体(4)为圆形托盘,底部向上延伸出侧壁,所述第二环形凹槽(5)设置在治具本体(4)的底部,所述压力分配环(3)底部安装在第二环形凹槽(5)内。
9.根据权利要求8所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具,其特征在于:所述第二环形凹槽(5)直径与压力分配环(3)的直径相对应,所述第二环形凹槽(5)截面的深度为压力分配环(3)截面直径的四分之一。
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