[实用新型]一种具有断电保护装置的光刻设备

说明书

本实用新型公开了一种具有断电保护装置的光刻设备，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻机构超出预设运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置。通过上述结构，能够在运动失控时及时实现运动停止，防止光刻机构因脱离而飞出造成的损坏。

技术领域

本实用新型涉及光刻设备保护技术领域，特别是涉及一种具有断电保护装置的光刻设备。

背景技术

在光刻设备中，通过光刻机构运动实现光刻，而光刻机构在高速中，光刻机构运行轴失控或者限位失效会对整个设备造成巨大的影响，好的结果缓冲器可以阻挡住光刻机构在高速下的撞击力，坏的结果高速运动的光刻机构撞坏缓冲器飞出整个设备或者将其他机构撞坏，因此需要一个装置在光刻机构失控或者限位失效的情况下对运动控制系统及时作出断电处理，使得电机失去动力，及时阻止光刻机构在失控或者限位失效情况下出现的电机继续高速运行的情况，同时要保证控制系统在失电后需要人为给系统上电操作。

前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有断电保护装置的光刻设备，能够在运动失控时及时实现运动停止。

本实用新型提供一种具有断电保护装置的光刻设备，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻机构超出运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置。

在其中一实施例中，所述断电保护装置包括碰撞开关、交流接触器和通路开关，所述碰撞开关的一端连接所述交流接触器，另一端接地，所述通路开关一端连接电源，另一端连接所述交流接触器。

在其中一实施例中，所述通路开关设有点动按钮或者时间继电器，所述碰撞开关为弹簧杆式行程开关。

在其中一实施例中，所述驱动机构包括电机和用于连接所述基座和所述光刻机构的导向机构，所述电机设置在所述基座内部，且所述电机连接所述断电保护装置和所述导向机构，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构水平运动的第一导向装置或/和用于实现所述光刻机构纵向运动的第二导向装置。

在其中一实施例中，所述第一导向装置包括设置在所述基座两相对侧的第一导轨，以及安装在所述第一导轨上的第一滑动件，所述第二导向装置包括横梁、设置在所述横梁两相对侧的第二导轨，以及安装在所述第二导轨上的第二滑动件。

在其中一实施例中，所述第一导轨两端外侧的所述基座上或所述第一导轨上的两端设置所述断电保护装置，所述第二导轨的两端外侧的横梁上或所述第二导轨上的两端设置所述断电保护装置。

在其中一实施例中，两个相对应的所述断电保护装置之间设有两个缓冲限位块，两个所述缓冲限位块之间的距离大于或等于所述第二导向装置或所述光刻机构的运动行程。

本实用新型提供的具有断电保护装置的光刻设备，通过用于在所述光刻机构超出运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置，能够在运动失控时及时实现运动停止，防止光刻机构因脱离而飞出造成的损坏。

附图说明

图1为本实用新型实施例具有断电保护装置的光刻设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例具有断电保护装置的光刻设备的线路连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。