[实用新型]一种具有断电保护装置的光刻设备

权利要求书

1.一种具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻机构超出预设运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置。

2.如权利要求1所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述断电保护装置包括碰撞开关、交流接触器和通路开关，所述碰撞开关的一端连接所述交流接触器，另一端接地，所述通路开关一端连接电源，另一端连接所述交流接触器。

3.如权利要求2所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述通路开关设有点动按钮或者时间继电器，所述碰撞开关为弹簧杆式行程开关。

4.如权利要求1所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，还设有用于连接所述驱动机构和所述光刻机构的导向机构，所述导向机构设置在所述基座上，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构水平运动的第一导向装置或/和用于实现所述光刻机构纵向运动的第二导向装置。

5.如权利要求4所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述第一导向装置包括设置在所述基座两相对侧的第一导轨，以及安装在所述第一导轨上的第一滑动件，所述第二导向装置包括横梁、设置在所述横梁两相对侧的第二导轨，以及安装在所述第二导轨上的第二滑动件。

6.如权利要求5所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述第一导轨两端外侧的所述基座上或所述第一导轨上的两端设置所述断电保护装置，所述第二导轨的两端外侧的横梁上或所述第二导轨上的两端设置所述断电保护装置。

7.如权利要求4所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，两个相对应的所述断电保护装置之间设有两个缓冲限位块，两个所述缓冲限位块之间的距离大于或等于所述第二导向装置或所述光刻机构的运动行程。